Ịkpọpụ ihe na-eme ka magnetron pụta ìhè gụnyere mbufe plasma mwepụ, ịcha ihe mgbaru ọsọ, itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị na usoro ndị ọzọ, oghere magnet na usoro ịkụnye ihe na magnetron ga-enwe mmetụta. Na sistemụ ịkụnye ihe na-eme ka magnetron gbasaa tinyere oghere magnet orthogonal, elektrọn ndị ahụ na-arụ ọrụ nke ike Lorentz ma na-eme mmegharị trajectory spiral, ha ga-enwerịrị nkụkọ mgbe niile iji nwayọ nwayọ gaa na anode, n'ihi na nkụkọ ahụ na-eme ka akụkụ nke elektrọn ndị ahụ rute anode mgbe ike ahụ dị obere, okpomọkụ nke ịkụnye ihe na substrate ahụ adịghịkwa oke ibu. Na mgbakwunye, n'ihi elektrọn site na mgbochi ubi magnetik lekwasịrị anya, na elu ebumnuche nke mmetụta magnetik nke mpaghara ahụ dị n'ime ụzọ mwepụ obere mpaghara a nke oke njupụta elektrọn dị elu nke ukwuu, na mmetụta magnetik nke mpaghara dị n'èzí elu substrate, karịsịa pụọ na ubi magnetik dị nso n'elu, ntinye elektrọn n'ihi mgbasa nke nkesa dị ala na nke yiri otu, na ọbụna ala karịa ọnọdụ nkụnye ihe na-eme ka dipole gbasaa (n'ihi ọdịiche nrụgide gas abụọ na-arụ ọrụ nke usoro nke nha). Njupụta elektrọn dị ala na-agbawa n'elu ihe mkpuchi ahụ, nke mere na bọmbụ nke ihe mkpuchi ahụ nke mmụba okpomọkụ dị ala kpatara, nke bụ isi usoro nke mmụba okpomọkụ magnetron sputtering substrate dị ala. Na mgbakwunye, ọ bụrụ na enwere naanị ubi eletriki, elektrọn ndị ahụ na-erute anode mgbe obere anya gasịrị, ohere nke nkpọkọ na gas na-arụ ọrụ bụ naanị 63.8%. Tinyekwa ubi magnet, elektrọn ndị na-agagharị na anode iji mee ngagharị gburugburu, ubi magnet na-ejikọta ma na-agbatị ụzọ nke elektrọn, na-eme ka ohere nke nkpọkọ nke elektrọn na gas na-arụ ọrụ dịkwuo mma, nke na-akwalite nke ukwuu nke ionization, ionization wee mepụta elektrọn ọzọ na-esonyekwa usoro nkpọkọ, enwere ike ịbawanye ohere nke nkpọkọ site na ọtụtụ usoro nke nha, ojiji dị irè nke ike nke elektrọn, ma si otú a na nhazi nke njupụta dị elu. Njupụta plasma na-abawanye na mwepụta ìhè anomalous nke plasma. Ọkwa nke ịgbọpụta atọm site na ihe mgbaru ọsọ na-amụbakwa, mmụba nke ihe mgbaru ọsọ nke bọmbụ nke ihe mgbaru ọsọ ahụ kpatara site na ion dị mma na-arụ ọrụ nke ọma karị, nke bụ ihe kpatara oke ọnụego nke ihe mkpofu magnetron. Na mgbakwunye, ọnụnọ nke ubi magnet nwekwara ike ime ka sistemụ sputtering na-arụ ọrụ na obere nrụgide ikuku, obere 1 maka nrụgide ikuku nwere ike ime ka ion dị na mpaghara oyi akwa sheath iji belata nkpọkọ, ịkụda ihe mgbaru ọsọ ahụ na nnukwu ike kinetic, na ụbọchị iji nwee ike ibelata atọm ebumnuche sputtered na nkpọkọ gas na-anọpụ iche, iji gbochie atọm ebumnuche ịgbasa na mgbidi nke ngwaọrụ ahụ ma ọ bụ tụgharịa azụ na elu ihe mgbaru ọsọ ahụ, iji melite ọnụego na ịdị mma nke ihe mkpuchi dị gịrịgịrị.
Ebe ndọta a na-elekwasị anya nwere ike igbochi ụzọ elektrọn dị iche iche, nke na-emetụtakwa ihe ndị dị na plasma na otú ion si agbapụta n'elu ihe mgbaru ọsọ ahụ.
Chọpụta: ịbawanye nha nhata nke ebe ndọta ihe mgbaru ọsọ nwere ike ime ka nha nhata nke ebe a na-atụ anya ya dịkwuo mma, si otú a na-eme ka ojiji nke ihe ebumnuche ahụ ka mma; nkesa ebe eletriki ezi uche dị na ya nwekwara ike ime ka usoro ịgbasa ihe sie ike nke ọma. Ya mere, maka ebe a na-atụ anya magnetron, nha na nkesa nke ebe ndọta ihe mgbaru ọsọ dị oke mkpa.
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua
Oge ozi: Disemba-14-2023