Jukumu la Uwanja wa Sumaku katika Kunyunyizia Magnetron

Usambazaji wa sumaku wa Magnetron unajumuisha hasa usafirishaji wa plasma ya kutokwa, kuchongwa kwa shabaha, uwekaji wa filamu nyembamba na michakato mingine, uwanja wa sumaku kwenye mchakato wa usambazaji wa sumaku wa magnetron utakuwa na athari. Katika mfumo wa usambazaji wa sumaku wa magnetron pamoja na uwanja wa sumaku wa orthogonal, elektroni zinakabiliwa na jukumu la nguvu ya Lorentz na hufanya harakati za njia ya ond, lazima zipitie mgongano wa mara kwa mara ili kuhamia polepole kwenye anodi, kutokana na mgongano hufanya sehemu ya elektroni kufikia anodi baada ya nishati kuwa ndogo, joto la mlipuko kwenye substrate pia si kubwa. Kwa kuongezea, kwa sababu ya elektroni na vikwazo vya uwanja wa sumaku wa lengo, katika uso unaolengwa wa athari ya sumaku ya eneo ambalo liko ndani ya njia ya usambazaji, safu hii ndogo ya ndani ya mkusanyiko wa elektroni ni kubwa sana, na katika athari ya sumaku ya eneo nje ya uso wa substrate, haswa mbali na uwanja wa sumaku karibu na uso, mkusanyiko wa elektroni kutokana na utawanyiko wa usambazaji wa chini sana na sawa, na hata chini kuliko hali ya usambazaji wa dipole (kwa sababu ya tofauti mbili za shinikizo la gesi ya kufanya kazi ya mpangilio wa ukubwa). Msongamano mdogo wa elektroni zinazoshambulia uso wa substrate, hivyo kwamba mlipuko wa substrate unaosababishwa na ongezeko la chini la joto, ambalo ni utaratibu mkuu wa kuongezeka kwa joto la substrate kwa magnetron ni mdogo. Zaidi ya hayo, ikiwa kuna uwanja wa umeme tu, elektroni hufikia anodi baada ya umbali mfupi sana, na uwezekano wa kugongana na gesi inayofanya kazi ni 63.8% tu. Na kuongeza uwanja wa sumaku, elektroni katika mchakato wa kuhamia kwenye anodi kufanya mwendo wa ond, uwanja wa sumaku hufunga na kupanua njia ya elektroni, na kuboresha sana uwezekano wa mgongano wa elektroni na gesi zinazofanya kazi, ambayo inakuza sana kutokea kwa ioni, ioni na kisha tena hutoa elektroni pia hujiunga na mchakato wa mgongano, uwezekano wa mgongano unaweza kuongezeka kwa amri kadhaa za ukubwa, matumizi bora ya nishati ya elektroni, na hivyo katika uundaji wa msongamano mkubwa. Msongamano wa plasma huongezeka katika kutokwa kwa mwanga usio wa kawaida wa plasma. Kiwango cha kutoa atomi kutoka kwa shabaha pia huongezeka, na kutoa atomi kutoka kwa shabaha kunakosababishwa na kupigwa kwa shabaha na ioni chanya ni bora zaidi, ambayo ndiyo sababu ya kiwango cha juu cha uwekaji wa kupigwa kwa sumaku kwa magnetron. Kwa kuongezea, uwepo wa uwanja wa sumaku pia unaweza kufanya mfumo wa kupigwa kufanya kazi kwa shinikizo la chini la hewa, kiwango cha chini cha 1 kwa shinikizo la hewa kinaweza kutengeneza ioni katika eneo la safu ya ala ili kupunguza mgongano, kutoa kupigwa kwa shabaha kwa nishati kubwa ya kinetiki, na siku kuweza kupunguza atomi zinazopigwa na mgongano wa gesi isiyo na upande, kuzuia atomi zinazopigwa kutawanyika kwenye ukuta wa kifaa au kurudishwa nyuma kwenye uso unaolengwa, ili kuboresha kiwango na ubora wa uwekaji wa filamu nyembamba.

Sehemu ya sumaku inayolengwa inaweza kudhibiti vyema njia ya elektroni, ambayo nayo huathiri sifa za plazima na uchomaji wa ioni kwenye shabaha.

Kufuatilia: kuongeza usawa wa uwanja wa sumaku unaolengwa kunaweza kuongeza usawa wa uchongaji wa uso unaolengwa, hivyo kuboresha matumizi ya nyenzo inayolengwa; usambazaji mzuri wa uwanja wa sumaku unaweza pia kuboresha kwa ufanisi utulivu wa mchakato wa uchomaji. Kwa hivyo, kwa lengo la uchomaji wa sumaku wa magnetron, ukubwa na usambazaji wa uwanja wa sumaku ni muhimu sana.

– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua