Magnetron sputtering feem ntau suav nrog kev thauj mus los ntawm cov ntshav tawm, kev txiav cov phiaj xwm, kev tso cov zaj duab xis nyias thiab lwm yam txheej txheem, lub zog sib nqus ntawm cov txheej txheem magnetron sputtering yuav muaj kev cuam tshuam. Hauv lub cev magnetron sputtering ntxiv rau lub zog sib nqus orthogonal, cov electrons raug rau lub luag haujlwm ntawm Lorentz lub zog thiab ua qhov kev txav mus los ntawm lub voj voog, yuav tsum tau sib tsoo tas li kom maj mam txav mus rau anode, vim tias kev sib tsoo ua rau ib feem ntawm cov electrons mus txog anode tom qab lub zog me me, qhov kub ntawm kev foob pob rau ntawm lub substrate kuj tsis loj. Tsis tas li ntawd, vim yog cov electron los ntawm lub hom phiaj magnetic teb txwv, nyob rau hauv qhov chaw ntawm lub hom phiaj ntawm cov nyhuv sib nqus ntawm thaj chaw uas nyob hauv qhov kev tso tawm khiav no qhov me me ntawm cov electron concentration hauv zos yog siab heev, thiab nyob rau hauv cov nyhuv sib nqus ntawm thaj chaw sab nraum lub substrate nto, tshwj xeeb tshaj yog deb ntawm lub zog sib nqus ze ntawm qhov chaw, cov electron concentration vim yog qhov kev sib kis ntawm qis dua thiab sib xws, thiab txawm tias qis dua li cov xwm txheej dipole sputtering (vim yog ob qhov sib txawv ntawm qhov siab ua haujlwm ntawm qhov kev txiav txim ntawm qhov loj). Qhov tsawg ntawm cov electrons bombarding rau ntawm qhov chaw ntawm lub substrate, yog li ntawd qhov bombardment ntawm lub substrate tshwm sim los ntawm qhov kub qis dua, uas yog lub hauv paus tseem ceeb ntawm magnetron sputtering substrate kub nce yog tsawg. Tsis tas li ntawd, yog tias tsuas muaj ib lub teb hluav taws xob, cov electrons mus txog anode tom qab qhov luv luv heev, thiab qhov tshwm sim ntawm kev sib tsoo nrog cov roj ua haujlwm tsuas yog 63.8%. Thiab ntxiv lub teb magnetic, cov electrons nyob rau hauv cov txheej txheem ntawm kev txav mus rau anode ua lub voj voog, lub teb magnetic khi thiab nthuav dav trajectory ntawm electrons, zoo heev txhim kho qhov tshwm sim ntawm kev sib tsoo ntawm electrons thiab cov roj ua haujlwm, uas zoo heev txhawb nqa qhov tshwm sim ntawm ionization, ionization thiab tom qab ntawd dua tsim cov electrons kuj koom nrog cov txheej txheem ntawm kev sib tsoo, qhov tshwm sim ntawm kev sib tsoo tuaj yeem nce los ntawm ntau qhov kev txiav txim ntawm qhov loj, kev siv zoo ntawm lub zog ntawm cov electrons, thiab yog li hauv kev tsim ntawm high-density Lub plasma density nce hauv qhov anomalous glow discharge ntawm plasma. Tus nqi ntawm kev tawm ntawm cov atoms los ntawm lub hom phiaj kuj nce ntxiv, thiab lub hom phiaj sputtering los ntawm kev foob pob ntawm lub hom phiaj los ntawm cov ions zoo yog qhov zoo dua, uas yog qhov laj thawj rau tus nqi siab ntawm magnetron sputtering deposition. Tsis tas li ntawd, qhov muaj nyob ntawm lub teb magnetic kuj tseem tuaj yeem ua rau lub kaw lus sputtering ua haujlwm ntawm qhov cua qis dua, qis 1 rau qhov cua siab tuaj yeem ua rau cov ions hauv thaj tsam txheej sheath kom txo qhov kev sib tsoo, kev foob pob ntawm lub hom phiaj nrog lub zog kinetic loj, thiab hnub kom tuaj yeem txo cov atoms sputtered thiab cov roj tsis sib tsoo, kom tiv thaiv cov atoms lub hom phiaj los ntawm kev tawg mus rau phab ntsa ntawm lub cuab yeej lossis rov qab mus rau qhov chaw ntawm lub hom phiaj, los txhim kho tus nqi thiab qhov zoo ntawm cov zaj duab xis nyias.
Lub teb sib nqus ntawm lub hom phiaj tuaj yeem ua rau muaj kev txwv tsis pub cov electrons mus rau lwm qhov, uas ua rau muaj kev cuam tshuam rau cov khoom siv plasma thiab kev cuam tshuam ntawm cov ions rau ntawm lub hom phiaj.
Txoj kab: ua kom qhov sib npaug ntawm lub hom phiaj sib nqus tuaj yeem ua kom qhov sib npaug ntawm lub hom phiaj nto etching, yog li txhim kho kev siv cov khoom siv hom phiaj; kev faib tawm ntawm lub teb hluav taws xob tsim nyog kuj tseem tuaj yeem txhim kho qhov ruaj khov ntawm cov txheej txheem sputtering. Yog li ntawd, rau lub hom phiaj magnetron sputtering, qhov loj me thiab kev faib tawm ntawm lub teb sib nqus yog qhov tseem ceeb heev.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-14-2023