Соронзон цацалт нь голчлон цэнэг алдалтын плазмын тээвэрлэлт, байг сийлбэрлэх, нимгэн хальсан тунадасжуулалт болон бусад процессуудыг багтаадаг бөгөөд соронзон цацалтын процесст соронзон орон нөлөөлдөг. Соронзон цацалтын системд болон ортогональ соронзон орон дээр электронууд нь Лоренц хүчний үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд спираль траекторын хөдөлгөөн хийдэг бөгөөд анод руу аажмаар шилжихийн тулд тогтмол мөргөлдөх ёстой бөгөөд мөргөлдөөний улмаас электронуудын нэг хэсэг нь анод руу хүрэхэд хүргэдэг бөгөөд энерги бага байдаг тул субстрат дээрх бөмбөгдөлтийн дулаан нь тийм ч их биш байдаг. Үүнээс гадна, электрон нь зорилтот соронзон орны хязгаарлалтаас болж, цэнэг алдалтын зурвасын доторх бүсийн соронзон нөлөөллийн бүсийн энэ орон нутгийн жижиг хүрээ маш өндөр бөгөөд субстратын гадаргуугийн гаднах бүсийн соронзон нөлөөлөл, ялангуяа гадаргуугийн ойролцоох соронзон орны хол байгаа тул электроны концентраци нь тархалтын улмаас хамаагүй бага, харьцангуй жигд тархалттай, тэр ч байтугай дипол цацалтын нөхцөл байдлаас ч доогуур байдаг (хоёр ажлын хийн даралтын зөрүүний улмаас). Субстратын гадаргууг бөмбөгдөж буй электронуудын нягтрал бага тул магнетрон цацалтын субстратын температурын өсөлтийн гол механизм болох температурын өсөлтөөс үүдэлтэй субстратын бөмбөгдөлт бага байдаг. Үүнээс гадна, хэрэв зөвхөн цахилгаан орон байгаа бол электронууд маш богино зайд анод руу хүрч, ажлын хийтэй мөргөлдөх магадлал ердөө 63.8% байна. Соронзон оронг нэмбэл анод руу шилжих явцад электронууд спираль хөдөлгөөн хийх бөгөөд соронзон орон нь электронуудын траекторыг холбож, сунгаж, электрон ба ажлын хийн мөргөлдөх магадлалыг эрс сайжруулж, ионжуулалт үүсэхийг ихээхэн дэмжиж, ионжуулалтыг бий болгож, дараа нь электронууд мөргөлдөх процесст нэгдэж, мөргөлдөх магадлалыг хэд хэдэн удаа нэмэгдүүлж, электронуудын энергийг үр дүнтэй ашиглаж, улмаар өндөр нягтралтай плазмын нягтрал нэмэгдэхэд плазмын нягтрал нэмэгддэг. Байнаас атомуудыг цацах хурд нэмэгдэж, эерэг ионоор байг бөмбөгдөхөөс үүдэлтэй байг цацах нь илүү үр дүнтэй байдаг нь магнетрон цацах тунадасжилтын өндөр хурдны шалтгаан болдог. Үүнээс гадна, соронзон орон байгаа нь цацах системийг бага агаарын даралттай, бага 1 агаарын даралттай ажиллахад хүргэдэг бөгөөд ингэснээр бүрхүүлийн давхаргын бүсэд ионуудыг мөргөлдөөнийг бууруулж, байг харьцангуй их кинетик энергиэр бөмбөгдөж, цацагдсан байны атомууд болон төвийг сахисан хийн мөргөлдөөнийг бууруулж, байны атомууд төхөөрөмжийн хананд тархах эсвэл байны гадаргуу руу буцаж ойхоос сэргийлж, нимгэн хальсан тунадасжилтын хурд болон чанарыг сайжруулдаг.
Байны соронзон орон нь электронуудын траекторыг үр дүнтэйгээр хязгаарлаж чаддаг бөгөөд энэ нь эргээд плазмын шинж чанар болон бай дээрх ионуудын сийлбэрт нөлөөлдөг.
Мөр: Байнгын соронзон орны жигд байдлыг нэмэгдүүлэх нь байнгийн гадаргуугийн сийлбэрийн жигд байдлыг нэмэгдүүлж, улмаар байнгийн материалын ашиглалтыг сайжруулж чадна; цахилгаан соронзон орны зохистой тархалт нь цацалтын процессын тогтвортой байдлыг үр дүнтэй сайжруулж чадна. Тиймээс магнетрон цацалтын байнгийн хувьд соронзон орны хэмжээ, тархалт маш чухал юм.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 14