மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் முக்கியமாக டிஸ்சார்ஜ் பிளாஸ்மா போக்குவரத்து, இலக்கு பொறித்தல், மெல்லிய படலப் படிவு மற்றும் பிற செயல்முறைகளை உள்ளடக்கியது, மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் செயல்பாட்டில் காந்தப்புலம் ஒரு தாக்கத்தை ஏற்படுத்தும். மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் அமைப்பில் செங்குத்தான காந்தப்புலத்துடன், எலக்ட்ரான்கள் லாரன்ஸ் விசையின் தாக்கத்திற்கு உட்பட்டு சுழல் பாதை இயக்கத்தை மேற்கொள்கின்றன, படிப்படியாக ஆனோடை நோக்கி நகர தொடர்ச்சியான மோதல்களுக்கு உள்ளாக வேண்டும். மோதலின் காரணமாக, ஆனோடை அடைந்த பிறகு ஒரு பகுதி எலக்ட்ரான்களின் ஆற்றல் குறைவாக இருப்பதால், அடி மூலக்கூறின் மீதான மோதல் வெப்பமும் பெரியதாக இருப்பதில்லை. மேலும், இலக்கின் காந்தப்புலக் கட்டுப்பாடுகளால், டிஸ்சார்ஜ் ரன்வேக்குள் இருக்கும் இலக்கு மேற்பரப்பின் காந்த விளைவுப் பகுதியில், இந்த உள்ளூர் சிறிய வரம்பில் எலக்ட்ரான் செறிவு மிகவும் அதிகமாக உள்ளது. அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பிற்கு வெளியே உள்ள காந்த விளைவுப் பகுதியில், குறிப்பாக மேற்பரப்பிற்கு அருகிலுள்ள காந்தப்புலத்திலிருந்து விலகி, எலக்ட்ரான் செறிவு சிதறல் காரணமாக மிகவும் குறைவாகவும் ஒப்பீட்டளவில் சீரான பரவலாகவும் உள்ளது, மேலும் இது டைபோல் ஸ்பட்டரிங் நிலைமைகளை விடவும் குறைவாக உள்ளது (ஏனெனில் இரண்டு வேலை செய்யும் வாயுக்களின் அழுத்த வேறுபாடு ஒரு வரிசை அளவில் உள்ளது). அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் மோதும் எலக்ட்ரான்களின் அடர்த்தி குறைவாக இருப்பதால், அடி மூலக்கூறின் மீதான இந்த மோதலால் ஏற்படும் வெப்பநிலை உயர்வு குறைவாக உள்ளது. இதுவே மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங்கின் முக்கிய இயக்கமுறையாகும், இதில் அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை உயர்வு குறைவாக உள்ளது. மேலும், ஒரு மின்புலம் மட்டுமே இருந்தால், எலக்ட்ரான்கள் மிகக் குறுகிய தூரத்திலேயே ஆனோடை அடைகின்றன, மேலும் செயல்படும் வாயுவுடன் மோதுவதற்கான நிகழ்தகவு 63.8% மட்டுமே ஆகும். அதனுடன் காந்தப்புலத்தைச் சேர்க்கும்போது, ஆனோடை நோக்கி நகரும் செயல்பாட்டில் எலக்ட்ரான்கள் சுருள் இயக்கத்தை மேற்கொள்கின்றன. காந்தப்புலம் எலக்ட்ரான்களின் பாதையைப் பிணைத்து நீட்டிப்பதால், எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் செயல்படும் வாயுக்கள் மோதுவதற்கான நிகழ்தகவு பெருமளவில் அதிகரிக்கிறது. இது அயனியாக்கம் நிகழ்வதை வெகுவாக ஊக்குவிக்கிறது. அயனியாக்கத்திற்குப் பிறகு மீண்டும் உருவாகும் எலக்ட்ரான்களும் மோதல் செயல்பாட்டில் இணைவதால், மோதலுக்கான நிகழ்தகவு பல மடங்கு அதிகரிக்கக்கூடும். இது எலக்ட்ரான்களின் ஆற்றலைத் திறம்படப் பயன்படுத்த வழிவகுக்கிறது, இதன் மூலம் உயர் அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மாவின் அசாதாரண ஒளிர்வு வெளியேற்றத்தில் அதன் அடர்த்தி அதிகரிக்கிறது. இலக்கிலிருந்து அணுக்கள் சிதறடிக்கப்படும் வீதமும் அதிகரிக்கிறது, மேலும் நேர்மின் அயனிகளால் இலக்கு தாக்கப்படுவதால் ஏற்படும் இலக்கு சிதறல் மிகவும் திறம்பட உள்ளது, இதுவே மேக்னட்ரான் சிதறல் படிவின் உயர் வீதத்திற்கான காரணமாகும். கூடுதலாக, காந்தப்புலத்தின் இருப்பு, சிதறல் அமைப்பை குறைந்த காற்று அழுத்தத்தில் செயல்பட வைக்கிறது; குறைந்த காற்று அழுத்தம், உறை அடுக்கு பகுதியில் உள்ள அயனிகளின் மோதலைக் குறைத்து, ஒப்பீட்டளவில் பெரிய இயக்க ஆற்றலுடன் இலக்கைத் தாக்க உதவுகிறது. மேலும், சிதறடிக்கப்பட்ட இலக்கு அணுக்கள் மற்றும் நடுநிலை வாயு மோதலைக் குறைத்து, இலக்கு அணுக்கள் சாதனத்தின் சுவரில் சிதறடிக்கப்படுவதையோ அல்லது இலக்கு மேற்பரப்பில் இருந்து மீண்டும் தெறித்து வருவதையோ தடுக்கிறது, இதன் மூலம் மென்படலப் படிவின் வீதம் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.
இலக்கின் காந்தப்புலம் எலக்ட்ரான்களின் பாதையைத் திறம்படக் கட்டுப்படுத்துகிறது, இது பிளாஸ்மாவின் பண்புகளையும் இலக்கின் மீது அயனிகள் அரிக்கப்படுவதையும் பாதிக்கிறது.
தடம்: இலக்கு காந்தப்புலத்தின் சீரான தன்மையை அதிகரிப்பது, இலக்கு மேற்பரப்பு அரிப்பின் சீரான தன்மையை அதிகரிக்க முடியும், இதன் மூலம் இலக்குப் பொருளின் பயன்பாட்டை மேம்படுத்தலாம்; நியாயமான மின்காந்தப் புலப் பரவல், ஸ்பட்டரிங் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் திறம்பட மேம்படுத்தும். எனவே, மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் இலக்கைப் பொறுத்தவரை, காந்தப்புலத்தின் அளவும் பரவலும் மிகவும் முக்கியமானவை.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர் 14, 2023