Ny Magnetron sputtering dia ahitana indrindra ny fitaterana plasma mivoaka, ny fanesorana ny lasibatra, ny fametrahana sarimihetsika manify ary ny dingana hafa, ny sehatra magnetika amin'ny dingana magnetron sputtering dia hisy fiantraikany. Ao amin'ny rafitra magnetron sputtering miaraka amin'ny sehatra magnetika orthogonal, ny elektrôna dia iharan'ny anjara asan'ny hery Lorentz ary manao fihetsehana miolikolika, tsy maintsy mandalo fifandonana tsy tapaka mba hifindrana tsikelikely mankany amin'ny anode, noho ny fifandonana mahatonga ny ampahany amin'ny elektrôna ho tonga any amin'ny anode rehefa kely ny angovo, ny hafanan'ny baomba eo amin'ny substrate koa dia tsy lehibe. Ankoatra izany, noho ny fameperana ny elektrôna amin'ny sehatra magnetika kendrena, ao amin'ny velaran'ny kendrena ny fiantraikan'ny magnetika amin'ny faritra ao anatin'ny lalana fivoahana dia avo dia avo ny fifantohan'ny elektrôna eo an-toerana, ary ao amin'ny fiantraikan'ny magnetika amin'ny faritra ivelan'ny velaran'ny substrate, indrindra fa lavitry ny sehatra magnetika akaikin'ny velarany, ny fifantohan'ny elektrôna noho ny fiparitahana dia ambany kokoa sy mitovy ny fizarana, ary ambany kokoa noho ny fepetra dipole sputtering (noho ny fahasamihafan'ny tsindry miasa roa amin'ny filaharan'ny lehibe). Ny hakitroky ny elektrôna ambany dia ambany amin'ny fipoiran'ny substrate, ka ny fiakaran'ny mari-pana ambany kokoa no mahatonga ny fiakaran'ny mari-pana ao amin'ny substrate, izay mekanisma lehibe mahatonga ny fiakaran'ny mari-pana ao amin'ny substrate ho ambany. Ankoatra izany, raha misy saha elektrika fotsiny, dia tonga any amin'ny anode ny elektrôna rehefa afaka halavirana fohy dia fohy, ary ny mety hisian'ny fifandonana amin'ny entona miasa dia 63.8% monja. Ary ampio ny saha magnetika, ny elektrôna mandritra ny fifindrana mankany amin'ny anode dia hanao fihetsehana miolikolika, ny saha magnetika dia mifamatotra sy manitatra ny lalan'ny elektrôna, izay manatsara be ny mety hisian'ny fifandonana eo amin'ny elektrôna sy ny entona miasa, izay mampiroborobo be ny fisian'ny ionisation, ionisation ary avy eo dia mamokatra elektrôna koa miditra amin'ny fizotran'ny fifandonana, ny mety hisian'ny fifandonana dia azo ampitomboina amin'ny ambaratonga maromaro, ny fampiasana mahomby ny angovon'ny elektrôna, ary noho izany dia mitombo ny hakitroky ny plasma amin'ny fananganana hakitroky avo lenta amin'ny famoahana hazavana tsy mahazatra ny plasma. Mitombo ihany koa ny tahan'ny famoahana atôma avy amin'ny lasibatra, ary mahomby kokoa ny famoahana atôma vokatry ny baomba ataon'ny iôna tsara amin'ny lasibatra, izay antony mahatonga ny tahan'ny famoahana magnetron avo lenta. Ankoatra izany, ny fisian'ny saha magnetika dia mety hahatonga ny rafitra famoahana hiasa amin'ny tsindry ambany kokoa, ny tsindry ambany 1 ho an'ny rivotra dia afaka mahatonga ny iôna ao amin'ny faritra fonony hampihena ny fifandonana, ny baomba ataon'ny lasibatra amin'ny angovo kinetika lehibe, ary ny andro mba hahafahana mampihena ny fifandonana amin'ny atôma lasibatra sy ny entona tsy miandany, mba hisorohana ny atôma lasibatra tsy hiparitaka amin'ny rindrin'ny fitaovana na hiverina amin'ny velaran'ny lasibatra, mba hanatsarana ny tahan'ny sy ny kalitaon'ny famoahana sarimihetsika manify.
Afaka mametra tsara ny lalan'ny elektrôna ny saha andriamby kendrena, izay misy fiantraikany amin'ny toetran'ny plasma sy ny fikikisana ny ion eo amin'ny kendrena.
Trace: ny fampitomboana ny fitoviana eo amin'ny sehatry ny andriamby kendrena dia afaka mampitombo ny fitoviana eo amin'ny velaran'ny kendrena, ka manatsara ny fampiasana ny fitaovana kendrena; ny fizarana saha elektromagnetika antonony dia afaka manatsara ihany koa ny fahamarinan'ny fizotran'ny sputtering. Noho izany, ho an'ny kendrena magnetron sputtering, ny habeny sy ny fizarana ny saha magnetika dia tena zava-dehibe.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 14 Desambra 2023