Ìfọ́nká Magnetron ní pàtàkì pẹ̀lú ìfọ́nká plasma ìfọ́nká, ìfọ́nká ibi-afẹ́fẹ́, ìfọ́nká fíìmù tín-tín àti àwọn ìlànà mìíràn, pápá oofa lórí ilana ìfọ́nká magnetron yóò ní ipa. Nínú ètò ìfọ́nká magnetron pẹ̀lú pápá oofa orthogonal, àwọn elekitironi wà lábẹ́ ipa ti agbára Lorentz wọ́n sì ń ṣe ìṣípo onígun mẹ́ta, wọ́n gbọ́dọ̀ fara gbá ìfọ́nká nígbà gbogbo láti gbéra díẹ̀díẹ̀ sí anode, nítorí ìfọ́nká náà mú kí apá kan àwọn elekitironi dé anode lẹ́yìn tí agbára náà bá kéré, ooru ìfọ́nká lórí substrate náà kò tún tóbi. Ní àfikún, nítorí elekitironi nípasẹ̀ àwọn ìdíwọ́ pápá oofa ìfọ́nká, nínú ojú ibi-afẹ́fẹ́ ti ipa oofa ti agbègbè tí ó wà láàárín ojú ọ̀nà ìfọ́nká, ìwọ̀n kékeré ti ìfọ́nká electron agbègbè yìí ga gidigidi, àti nínú ipa oofa ti agbègbè tí ó wà níta ojú ilẹ̀ oofa, pàápàá jùlọ jìnnà sí pápá oofa nitosi ojú ilẹ̀, ìfọ́nká electroni nítorí ìfọ́nká ti ìpínkiri tí ó kéré síi àti tí ó jọra, àti pàápàá sí ìsàlẹ̀ ju àwọn ipò ìfọ́nká dipole lọ (nítorí ìyàtọ̀ titẹ gaasi méjì tí ń ṣiṣẹ́ ti ìtòlẹ́sẹẹsẹ ìwọ̀n). Ìwọ̀n kékeré ti àwọn elekitironi tí ń bo ojú ilẹ̀ náà, kí ìbọn tí ó wà lórí ilẹ̀ náà tí ìbísí iwọ̀n otútù tí ó lọ sílẹ̀, èyí tí ó jẹ́ ọ̀nà pàtàkì fún ìbísí iwọ̀n otútù magnetron, tó ń mú kí ìgbóná iwọ̀n otútù pọ̀ sí i. Ní àfikún, tí pápá iná mànàmáná bá wà, àwọn elekitironi dé anode lẹ́yìn ìjìnnà kúkúrú, àti pé ìṣeéṣe ìforígbárí pẹ̀lú gaasi tí ń ṣiṣẹ́ jẹ́ 63.8%. Àti fi pápá oofa kún un, àwọn elekitironi tí ń gbéra lọ sí anode láti ṣe ìṣípo oníyípo, pápá oofa náà ń so mọ́ ipa ọ̀nà àwọn elekitironi, ó ń mú ìṣeéṣe ìforígbárí àwọn elekitironi àti àwọn gaasi tí ń ṣiṣẹ́ sunwọ̀n sí i, èyí tí ó ń mú kí ìṣẹ̀lẹ̀ ionization, ionization àti lẹ́yìn náà ṣe àwọn elekitironi tún ń dara pọ̀ mọ́ ilana ìforígbárí, ìṣeéṣe ìforígbárí lè pọ̀ sí i nípa ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìpele ìwọ̀n, lílo agbára àwọn elekitironi tí ó munadoko, àti nípa bẹ́ẹ̀ ní ìṣẹ̀dá ìwọ̀n gíga. Ìwọ̀n plasma ń pọ̀ sí i nínú ìtújáde ìmọ́lẹ̀ àìṣedéédé ti plasma. Ìwọ̀n ìtújáde àwọn átọ̀mù jáde láti inú àfojúsùn náà tún ń pọ̀ sí i, àti ìtújáde àfojúsùn tí ìtújáde àwọn ion rere fà múná dóko jù, èyí tí ó jẹ́ ìdí tí ìtújáde àwọn ion tó dára ti magnetron fi ń pọ̀ sí i. Ní àfikún, wíwà pápá oofa náà tún lè mú kí ètò ìtújáde ṣiṣẹ́ ní ìfúnpá afẹ́fẹ́ tó kéré sí i, ìfúnpá afẹ́fẹ́ tó kéré sí i lè mú kí àwọn ion nínú agbègbè ìfọ́ àpò láti dín ìkọlù kù, ìtújáde àwọn ion pẹ̀lú agbára kinetic tó pọ̀, àti ọjọ́ láti lè dín àwọn átọ̀mù ìtújáde àti ìkọlù gaasi tí kò ní ìdúróṣinṣin kù, láti dènà àwọn átọ̀mù ìtújáde láti túká sí ògiri ẹ̀rọ náà tàbí láti padà sí ojú ibi tí a fojú sí, láti mú kí ìwọ̀n àti dídára ìtújáde fíìmù tín-ín-rín náà sunwọ̀n sí i.
Agbára òòfà tí a fẹ́ lò lè dín ipa ọ̀nà àwọn elektroni kù dáadáa, èyí tí ó ní ipa lórí àwọn ànímọ́ plasma àti ìfọ́ àwọn ion lórí ibi tí a fẹ́ lò ó.
Ìtọ́pinpin: mu iṣọkan aaye oofa afojusun pọ si le mu iṣọkan ti fifi oju ibi-afẹde kun si pọ si, nitorinaa mu lilo ohun elo afojusun dara si; pinpin aaye oofa itanna ti o tọ tun le mu iduroṣinṣin ilana sputtering dara si daradara. Nitorinaa, fun ibi-afẹde sputtering magnetron, iwọn ati pinpin aaye oofa ṣe pataki pupọ.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-14-2023