Пошидани магнетрон асосан интиқоли плазмаи разряд, кандакории ҳадаф, ҷойгиркунии плёнкаи тунук ва дигар равандҳоро дар бар мегирад, майдони магнитӣ ба раванди пошидани магнетрон таъсир мерасонад. Дар системаи пошидани магнетрон ва майдони магнитии ортогоналӣ, электронҳо ба нақши қувваи Лоренц тобеъанд ва ҳаракати траекторияи спиралӣ мекунанд, бояд барои тадриҷан ба анод ҳаракат кардан бархӯрди доимиро аз сар гузаронанд, зеро бархӯрд қисме аз электронҳоро пас аз расидан ба анод водор мекунад, ки энергия кам бошад, гармии бомбаборонкунӣ ба субстрат низ калон нест. Илова бар ин, аз сабаби маҳдудиятҳои майдони магнитии ҳадаф, дар сатҳи ҳадаф таъсири магнитии минтақае, ки дар дохили хатти разряд ҷойгир аст, ин диапазони хурди маҳаллии консентратсияи электрон хеле баланд аст ва дар таъсири магнитии минтақа берун аз сатҳи субстрат, махсусан дур аз майдони магнитӣ дар наздикии сатҳ, консентратсияи электрон аз сабаби парокандагӣ тақсимоти хеле пасттар ва нисбатан яксон ва ҳатто камтар аз шароити пошидани дипол (аз сабаби фарқияти ду фишори гази корӣ дар як тартиби бузургӣ) пасттар аст. Зичии пасти электронҳо сатҳи зеризаминиро бомбаборон мекунанд, аз ин рӯ, бомбаборонкунии зеризаминӣ, ки аз сабаби паст шудани ҳарорат ба вуҷуд меояд, ки механизми асосии афзоиши ҳарорати зеризаминии пошидани магнетрон мебошад, кам аст. Ғайр аз ин, агар танҳо майдони электрикӣ вуҷуд дошта бошад, электронҳо пас аз масофаи хеле кӯтоҳ ба анод мерасанд ва эҳтимолияти бархӯрд бо гази корӣ танҳо 63,8% -ро ташкил медиҳад. Ва агар майдони магнитиро илова кунем, электронҳо дар раванди ҳаракат ба анод барои анҷом додани ҳаракати спиралӣ ҳаракат мекунанд, майдони магнитӣ ба ҳам пайваст мешавад ва траекторияи электронҳоро дароз мекунад, ки эҳтимолияти бархӯрди электронҳо ва газҳои кориро хеле беҳтар мекунад, ки ба пайдоиши ионизатсия мусоидат мекунад, ионизатсия ва сипас дубора ба вуҷуд овардани электронҳо низ ба раванди бархӯрд ҳамроҳ мешавад, эҳтимолияти бархӯрд метавонад ба якчанд тартиби бузургӣ афзоиш ёбад, истифодаи самараноки энергияи электронҳо ва аз ин рӯ дар ташаккули зичии баланд. Зичии плазма дар разряди аномалии дурахшони плазма меафзояд. Суръати пошидани атомҳо аз ҳадаф низ афзоиш меёбад ва пошидани ҳадаф, ки дар натиҷаи бомбаборон кардани ҳадаф аз ҷониби ионҳои мусбат ба вуҷуд меояд, самараноктар аст, ки сабаби суръати баланди ҷойгиршавии пошидани магнетронӣ мебошад. Илова бар ин, мавҷудияти майдони магнитӣ инчунин метавонад системаи пошиданиро бо фишори пасти ҳаво, фишори пасти ҳаво, ки метавонад боиси кам шудани бархӯрд, бомбаборон кардани ҳадаф бо энергияи нисбатан калони кинетикӣ ва кам кардани бархӯрди атомҳои ҳадаф ва гази бетараф гардад, аз пароканда шудани атомҳои ҳадаф ба девори дастгоҳ ё бозгашт ба сатҳи ҳадаф пешгирӣ кунад ва суръат ва сифати ҷойгиршавии плёнкаи тунукро беҳтар созад.
Майдони магнитии мақсаднок метавонад траекторияи электронҳоро ба таври муассир маҳдуд кунад, ки ин ба хосиятҳои плазма ва кандакории ионҳо дар ҳадаф таъсир мерасонад.
Пайгирӣ: афзоиши якрангии майдони магнитии ҳадаф метавонад якрангии кандакории сатҳи ҳадафро афзоиш диҳад ва бо ин васила истифодаи маводи ҳадафро беҳтар созад; тақсимоти оқилонаи майдони электромагнитӣ инчунин метавонад устувории раванди пошиданиро самаранок беҳтар созад. Аз ин рӯ, барои ҳадафи пошидани магнетронӣ, андоза ва тақсимоти майдони магнитӣ хеле муҳим аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 14 декабри соли 2023