Magnetronli purkash asosan razryad plazmasini tashish, nishonni o'yib ishlov berish, yupqa plyonkali cho'ktirish va boshqa jarayonlarni o'z ichiga oladi, magnitronli purkash jarayonidagi magnit maydon ta'sir ko'rsatadi. Magnetronli purkash tizimida ortogonal magnit maydon bilan birga elektronlar Lorentz kuchiga bo'ysunadi va spiral traektoriya harakatini amalga oshiradi, anodga asta-sekin o'tish uchun doimiy to'qnashuvga uchrashi kerak, to'qnashuv tufayli elektronlarning bir qismi anodga yetib boradi, keyin energiya kichik bo'ladi, substratga bombardimon qilish issiqligi ham katta emas. Bundan tashqari, elektronning maqsadli magnit maydon cheklovlari tufayli, razryad yo'lagi ichidagi mintaqaning magnit effekti nuqtasida bu mahalliy kichik elektron konsentratsiyasi diapazoni juda yuqori va substrat yuzasidan tashqaridagi mintaqaning magnit effektida, ayniqsa sirt yaqinidagi magnit maydondan uzoqda, elektron konsentratsiyasi dispersiya tufayli ancha past va nisbatan bir xil taqsimotga ega va hatto dipolli purkash sharoitlaridan ham pastroq (ikkita ishchi gaz bosimi farqi tufayli kattalik tartibida). Substrat yuzasiga bombardimon qilinadigan elektronlarning zichligi past, shuning uchun magnitronli puflash substrat haroratining ko'tarilishining asosiy mexanizmi bo'lgan past harorat ko'tarilishi natijasida substratning bombardimon qilinishi past bo'ladi. Bundan tashqari, agar faqat elektr maydoni bo'lsa, elektronlar juda qisqa masofadan keyin anodga yetib boradi va ishchi gaz bilan to'qnashuv ehtimoli atigi 63,8% ni tashkil qiladi. Va magnit maydonni qo'shsak, elektronlar anodga o'tish jarayonida spiral harakatni amalga oshiradi, magnit maydon elektronlar traektoriyasini bog'laydi va kengaytiradi, bu elektronlar va ishchi gazlarning to'qnashuv ehtimolini sezilarli darajada yaxshilaydi, bu esa ionlanishning paydo bo'lishiga katta hissa qo'shadi, ionlanish va keyin yana elektronlar ham to'qnashuv jarayoniga qo'shiladi, to'qnashuv ehtimoli bir necha marta kattalashishi mumkin, bu elektronlar energiyasidan samarali foydalanishga va shu tariqa yuqori zichlikdagi plazma zichligining plazmaning anomal porlash zaryadsizlanishida oshishiga olib keladi. Nishondan atomlarning purkash tezligi ham oshadi va nishonni musbat ionlar bilan bombardimon qilish natijasida hosil bo'lgan nishonning purkash tezligi samaraliroq bo'ladi, bu esa magnetron purkash cho'kmasining yuqori tezligiga sabab bo'ladi. Bundan tashqari, magnit maydonning mavjudligi purkash tizimini past havo bosimida, past havo bosimi 1 da ishlashiga olib kelishi mumkin, bu esa to'qnashuvni kamaytirish uchun qobiq qatlami mintaqasida ionlarni hosil qiladi, nishonni nisbatan katta kinetik energiya bilan bombardimon qiladi va purkalgan nishon atomlari va neytral gaz to'qnashuvini kamaytirish, nishon atomlarining qurilma devoriga sochilib ketishini yoki nishon yuzasiga qaytib kelishini oldini olish, yupqa plyonka cho'kmasining tezligi va sifatini yaxshilash imkonini beradi.
Nishon magnit maydoni elektronlarning traektoriyasini samarali ravishda cheklashi mumkin, bu esa o'z navbatida plazma xususiyatlariga va nishondagi ionlarning o'yilishiga ta'sir qiladi.
Iz: maqsadli magnit maydonining bir xilligini oshirish maqsadli sirtni o'yib ishlashning bir xilligini oshirishi mumkin, shu bilan maqsadli materialdan foydalanishni yaxshilaydi; elektromagnit maydonning oqilona taqsimlanishi ham purkash jarayonining barqarorligini samarali ravishda oshirishi mumkin. Shuning uchun, magnetronli purkash maqsadi uchun magnit maydonning o'lchami va taqsimlanishi juda muhimdir.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 14-dekabr