Udindo wa Magnetic Field mu Magnetron Sputtering

Kutulutsa kwa Magnetron kumaphatikizapo kunyamula kwa plasma yotulutsa, kupukuta kwa cholinga, kuyika filimu yopyapyala ndi njira zina, mphamvu ya maginito pa njira yotulutsira maginito idzakhala ndi mphamvu. Mu dongosolo lotulutsa maginito la magnetron kuphatikiza mphamvu ya maginito ya orthogonal, ma elekitironi amakhudzidwa ndi mphamvu ya Lorentz ndipo amachita kayendetsedwe ka spiral trajectory, ayenera kugundana nthawi zonse kuti asunthe pang'onopang'ono kupita ku anode, chifukwa cha kugundana kumapangitsa kuti ma elekitironi afike ku anode mphamvu ikakhala yaying'ono, kutentha kwa bombardment pa substrate sikuli kwakukulu. Kuphatikiza apo, chifukwa cha zoletsa za mphamvu ya maginito ya cholinga, pamwamba pa cholinga cha mphamvu ya maginito ya dera lomwe lili mkati mwa msewu wotulutsira maginito, kuchuluka kwa maginito kwa derali kumakhala kwakukulu kwambiri, ndipo pamaginito a dera lomwe lili kunja kwa substrate pamwamba, makamaka kutali ndi mphamvu ya maginito pafupi ndi pamwamba, kuchuluka kwa maginito chifukwa cha kufalikira kwa kugawa kotsika kwambiri komanso kofanana, komanso kotsika kuposa momwe dipole imatulutsira (chifukwa cha kusiyana kwa mpweya wogwira ntchito kawiri kwa dongosolo la kukula). Kuchuluka kochepa kwa ma elekitironi omwe akuphulika pamwamba pa substrate, kotero kuti kuphulika kwa substrate komwe kumachitika chifukwa cha kukwera kwa kutentha kochepa, komwe ndi njira yayikulu yowonjezerera kukwera kwa kutentha kwa substrate kumakhala kochepa. Kuphatikiza apo, ngati pali munda wamagetsi wokha, ma elekitironi amafika pa anode patatha mtunda waufupi kwambiri, ndipo mwayi wogundana ndi mpweya wogwira ntchito ndi 63.8% yokha. Ndipo onjezerani mphamvu ya maginito, ma elekitironi akamasunthira ku anode kuti achite kuyenda kozungulira, mphamvu ya maginito imamanga ndikukulitsa njira ya ma elekitironi, zomwe zimapangitsa kuti mwayi wogundana kwa ma elekitironi ndi mpweya wogwira ntchito ukhale wabwino kwambiri, zomwe zimapangitsa kuti ionization ichitike, ionization kenako ndikupanganso ma elekitironi omwe amalowa nawo munjira yogundana, mwayi wogundana ukhoza kuwonjezeka ndi ma order angapo a kukula, kugwiritsa ntchito bwino mphamvu ya ma elekitironi, motero pakupanga kuchuluka kwakukulu. Kuchuluka kwa plasma kumawonjezeka mu kutuluka kwa kuwala kosadziwika bwino kwa plasma. Kuchuluka kwa kutulutsa maatomu kuchokera ku cholinga kumawonjezekanso, ndipo kutulutsa maatomu kuchokera ku cholinga chifukwa cha kuphulika kwa ma ayoni abwino kumakhala kothandiza kwambiri, zomwe zimapangitsa kuti kuchuluka kwa ma magnetron sputtering kukhale kwakukulu. Kuphatikiza apo, kukhalapo kwa mphamvu ya maginito kungapangitsenso kuti makina otulutsa maatomu azigwira ntchito pa mpweya wochepa, kutsika kwa 1 kwa mpweya kungapangitse ma ayoni m'dera la sheath layer kuti achepetse kugundana, kuphulika kwa cholinga ndi mphamvu yayikulu ya kinetic, ndi tsiku kuti athe kuchepetsa maatomu otulutsa maatomu ndi mpweya wosalowerera, kuti maatomu otulutsa maatomu asabalalike pakhoma la chipangizocho kapena kubwerera kumtunda kwa cholingacho, kuti awonjezere liwiro ndi ubwino wa kufalikira kwa filimu yopyapyala.

Mphamvu ya maginito yomwe cholinga chake ndi kuwunikira ingathe kuletsa bwino njira ya ma elekitironi, zomwe zimakhudzanso momwe plasma imagwirira ntchito komanso momwe ma ayoni amaonekera pa cholingacho.

Kutsatira: Kuonjezera kufanana kwa mphamvu ya maginito yomwe mukufuna kuigwiritsa ntchito kungawonjezere kufanana kwa kudulidwa kwa pamwamba pa chinthu chomwe mukufuna kuigwiritsa ntchito, motero kungathandize kugwiritsa ntchito bwino zinthu zomwe mukufuna kuigwiritsa ntchito; kugawa bwino mphamvu ya maginito yomwe mukufuna kuigwiritsa ntchito kungathandizenso kukhazikika kwa njira yodulira. Chifukwa chake, pa cholinga chodulira maginito, kukula ndi kufalikira kwa mphamvu ya maginito ndikofunikira kwambiri.

– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua