Gutera amashanyarazi hakoreshejwe magnetron ahanini bikubiyemo gutwara plasma isohoka, gushushanya intego, gushyira icyuma gito mu kirere n'izindi nzira, imbaraga za rukuruzi ku gikorwa cyo gutera amashanyarazi hakoreshejwe magnetron bizagira ingaruka. Muri sisitemu yo gutera amashanyarazi hakoreshejwe magnetron hamwe n'imbaraga za rukuruzi zigororotse, electron zigengwa n'uruhare rwa Lorentz kandi zigakora ingendo zo mu buryo bw'uruziga, zigomba kugongana buri gihe kugira ngo zijye kuri anode buhoro buhoro, bitewe n'igongana bituma igice cya electron kigera kuri anode nyuma y'uko ingufu ari nke, ubushyuhe bwo guterwa kuri substrate nabwo ntibuba bunini. Byongeye kandi, kubera electron iterwa n'inzitizi z'imbaraga za rukuruzi, mu buso bw'ingaruka za rukuruzi z'akarere kari mu nzira yo gutera amashanyarazi, uru rwego ruto rw'ingano ya electron ruri hejuru cyane, kandi mu ngaruka za rukuruzi z'akarere kari hanze y'ubuso bwa substrate, cyane cyane kure y'imbaraga za rukuruzi hafi y'ubuso, imbaraga za electron ziterwa no gukwirakwira kw'ikwirakwizwa ry'ingufu nke cyane kandi zingana, ndetse no munsi y'imiterere ya dipole yo gutera amashanyarazi (kubera itandukaniro ry'umuvuduko wa gaze ukorera ku rugero rw'ubunini). Ubucucike buke bwa electron zitera hejuru y’ubutaka, ku buryo guturika kw’ubutaka buterwa no kuzamuka k’ubushyuhe ku buke, ari na yo nzira nyamukuru yo kuzamuka k’ubushyuhe bwa magnetron ni hasi. Byongeye kandi, iyo hari amashanyarazi gusa, electron zigera kuri anode nyuma y’intera ngufi cyane, kandi amahirwe yo kugongana na gazi ikora ni 63.8% gusa. Kandi ongeramo imbaraga za rukuruzi, electron mu gihe zijya kuri anode kugira ngo zikore ingendo zo kuzenguruka, imbaraga za rukuruzi zihambira kandi zongere inzira ya electron, binongera cyane amahirwe yo kugongana kwa electron na gazi zikora, ibyo bikaba bitera cyane kubaho kwa ionization, ionization hanyuma bikongera gukora electron nazo zifatanya n’inzira yo kugongana, amahirwe yo kugongana ashobora kwiyongera ku buryo butandukanye, ikoreshwa neza ry’ingufu za electron, bityo mu ikorwa ry’ubucucike bwinshi. Ubucucike bwa plasma buriyongera mu gusohora urumuri rudasanzwe rwa plasma. Igipimo cyo gusohora atome mu gice cy’ingenzi nacyo kiriyongera, kandi gusohora igikoresho giterwa no guterwa kw’ikintu hifashishijwe inzoga nziza birarushaho kugira akamaro, ari nayo mpamvu yo guterwa kw’inzoga za magnetron nyinshi. Byongeye kandi, kuba hari imbaraga za rukuruzi bishobora gutuma sisitemu yo guterwa ikora ku muvuduko muto w’umwuka, 1 yo hasi ku muvuduko w’umwuka ishobora gukora inzoga mu gace k’urwego rw’icyuma kugira ngo igabanye impanuka, guterwa kw’ikintu hifashishijwe ingufu nyinshi za kinetiki, kandi umunsi ukabasha kugabanya atome zo guterwa n’ingufu zitagira aho zihurira n’ingufu zitagira aho zihurira, kugira ngo hirindwe ko atome zo guterwa zitatana ku rukuta rw’igikoresho cyangwa ngo zigaruke ku buso bw’ikintu, kugira ngo hongerwe umuvuduko n’ubwiza bw’aho icyuma gitemba.
Imbaraga rukuruzi zigamije zishobora kugabanya inzira ya electron, ibi bigira ingaruka ku miterere ya plasma no ku gushushanya iyoni ku ntego.
Trace: kongera uburinganire bw'imbaraga za rukuruzi zigamije kongera uburinganire bw'ubuso bw'intego, bityo bikanoza ikoreshwa ry'ibikoresho by'intego; ikwirakwizwa ry'imbaraga za rukuruzi rikwiye naryo rishobora kunoza neza uburyo bwo guturika kw'intego. Kubwibyo, ku ntego yo guturika kw'intego ya rukuruzi, ingano n'ikwirakwizwa ry'imbaraga za rukuruzi ni ingenzi cyane.
–Iyi nkuru yasohotse nauruganda rukora imashini zikora imashini zikoresha umwuka ushyushyeGuangdong Zhenhua
Igihe cyo kohereza: Ukuboza 14-2023

