Magnetronyň dökülmegi esasan plazma transportyny, maksatly çişmegi, inçe filmiň çökmegini we beýleki amallary öz içine alýar, magnitronyň dökülmegi prosesinde magnit meýdany täsir eder. Magnetron tüýdük ulgamynda we ortogonal magnit meýdanynda, elektronlar Lorentz güýjüniň roluna sezewar bolýar we spiral traýektoriýa hereketini edýär, anodyň kem-kemden hereket etmegi üçin yzygiderli çaknyşmalydyr, sebäbi energiýa az bolansoň, anodlara ýetmek üçin elektronlaryň bir bölegi bolýar, substratda bombalanmagyň ýylylygy hem uly däl. Mundan başga-da, maksatly magnit meýdanyndaky çäklendirmeler sebäpli, akymyň uçuş-gonuş zolagynda ýerleşýän sebitiň magnit täsiriniň üstünde, bu ýerli kiçi elektron konsentrasiýasy gaty ýokary, aşaky gatlagyň daşyndaky sebitiň magnit täsiri, esasanam ýeriň golaýyndaky magnit meýdanyndan has uzak we deňeşdirilen paýlanyşyň ýaýramagy sebäpli elektron konsentrasiýasy, ikitaraplaýyn bölüniş şertleriniň ýaýramagy sebäpli. Substratyň ýüzüni bombalaýan elektronlaryň pes dykyzlygy, şeýlelik bilen aşaky temperaturanyň ýokarlanmagynyň esasy mehanizmi bolan aşaky temperaturanyň ýokarlanmagy sebäpli substratyň bombalanmagy pesdir. Mundan başga-da, diňe elektrik meýdany bar bolsa, elektronlar gaty gysga aralykdan anoda ýetýärler we işleýän gaz bilen çaknyşmak ähtimallygy bary-ýogy 63,8%. Spiral hereket etmek üçin magnit meýdanyny, elektronlary goşuň, magnit meýdany baglanyşdyrylýar we elektronlaryň traýektoriýasyny uzadýar, ionlaşmagyň, ionlaşmagyň ýüze çykmagyna ep-esli kömek edýän, soň bolsa ýene-de elektron öndürýän hem çaknyşyk prosesine goşulýar, çaknyşygyň ähtimallygy, ululykdaky güýçlilik, güýçlilik, güýçlilik we güýçlilik. plazmanyň anomal ýalpyldawuk akymynda plazmanyň dykyzlygy ýokarlanýar. Maksatdan atomlary taşlamagyň tizligi hem ýokarlanýar we nyşanyň polo positiveitel ionlar tarapyndan bombalanmagy netijesinde dörän nyşana dökülmegi has täsirli bolýar, bu magnitronyň dökülmeginiň ýokary tizliginiň sebäbi. Mundan başga-da, magnit meýdanynyň bolmagy howa basyşy üçin pes 1, howa basyşy üçin pes 1, gabyk gatlagynda ionlary döredip biler, çaknyşygy azaltmak, nyşanyň birneme uly kinetik energiýa bilen bombalanmagy, nyşana alynýan atomlaryň we bitarap gazyň çaknyşmagynyň öňüni almak, nyşana alynýan atomlaryň enjamyň diwaryna ýaýramagynyň öňüni almak. depozit.
Maksatly magnit meýdany elektronlaryň traýektoriýasyny netijeli çäklendirip biler, bu bolsa öz gezeginde plazma häsiýetlerine we ionlaryň nyşana çykmagyna täsir edýär.
Yz: maksatly magnit meýdanynyň birmeňzeşligini ýokarlandyrmak, nyşanyň üstki gatlagynyň birmeňzeşligini ýokarlandyryp biler, şeýlelik bilen maksat materialynyň ulanylyşyny gowulandyrar; ýerlikli elektromagnit meýdan paýlanyşy tüýkürmek prosesiniň durnuklylygyny hem gowulaşdyryp biler. Şonuň üçin magnitronyň tüýdük nyşany üçin magnit meýdanynyň ululygy we paýlanyşy diýseň möhümdir.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 14-2023-nji dekabry