Püskürtme örtüginiň, esasanam magnetron püskürtme örtüginiň tehnologiýasynyň barha ösmegi bilen häzirki wagtda islendik material üçin ion bombardman nyşana plýonkasyny taýýarlamak mümkin, sebäbi nyşana bir görnüşli substrata örtüklemek prosesinde püskürtülýär, ölçenen plýonkanyň hiline möhüm täsir edýär, şonuň üçin nyşana materiala bolan talaplar hem has berk. Nyşana materialy saýlananda, plýonkanyň özüni ulanmakdan başga-da, aşakdaky meseleleri hem göz öňünde tutmaly:
Nyşana alnan material plýonkadan soň gowy mehaniki berklige we himiki durnuklylyga eýe bolmaly;
Nyşana we substrat berk birleşdirilen bolmaly, ýogsam substrat membrana gatlagynyň gowy utgaşmasy bilen alynmaly, ilki esasy plýonkany sepmeli, soňra bolsa zerur membrana gatlagyny taýýarlamaly;
Membran materialyna sepilýän reaksiýa hökmünde gaz bilen reaksiýa girip, birleşme plýonkasyny emele getirmeli.
Membranyň iş görkezijileriniň talaplaryna laýyk gelmegi şerti bilen, nyşana alynýan materialyň we substratyň termal giňelme koeffisiýentiniň arasyndaky tapawut mümkin boldugyça az bolmaly, şonuň üçin sepilen membrana termal stres täsirini iň pes derejä düşürmeli.
Membranyň ulanylyş we iş görkezijileri boýunça talaplaryna laýyklykda, maksatly material arassalyga, hapaçylyk mukdaryna, komponentleriň birmeňzeşligine, işleniş takyklygyna we beýleki tehniki talaplara laýyk gelmelidir.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 9-njy ýanwary