Purkash qoplamasi, ayniqsa magnetron purkash qoplama texnologiyasining tobora rivojlanishi bilan, hozirgi vaqtda har qanday material uchun ion bombardimon nishon plyonkasini tayyorlash mumkin, chunki nishon uni biron bir substratga qoplash jarayonida purkaladi, o'lchangan plyonkaning sifati muhim ta'sir ko'rsatadi, shuning uchun nishon materialiga qo'yiladigan talablar ham qat'iyroq. Nishon materialini tanlashda, plyonkaning o'zidan foydalanishdan tashqari, quyidagi masalalarni ham ko'rib chiqish kerak:
Maqsadli material plyonkadan keyin yaxshi mexanik kuchga va kimyoviy barqarorlikka ega bo'lishi kerak;
Nishon va substrat mustahkam birlashtirilishi kerak, aks holda substrat membrana qatlamining yaxshi kombinatsiyasiga ega bo'lishi kerak, avval taglik plyonkasini purkash va keyin kerakli membrana qatlamini tayyorlash kerak;
Reaksiya sifatida membrana materialiga purkash gaz bilan oson reaksiyaga kirishib, aralash plyonka hosil qilishi kerak.
Membrananing ishlash talablariga javob berish sharti bilan, maqsadli material va substratning issiqlik kengayish koeffitsienti o'rtasidagi farq iloji boricha kichik bo'lishi kerak, bu esa purkalgan membranaga issiqlik stressining ta'sirini minimallashtirishga imkon beradi.
Membrananing foydalanish va ishlash talablariga muvofiq, maqsadli material soflik, nopoklik miqdori, komponentlarning bir xilligi, ishlov berish aniqligi va boshqa texnik talablarga javob berishi kerak.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Joylashtirilgan vaqt: 2024-yil 9-yanvar