Với sự phát triển ngày càng tăng của công nghệ phủ màng bằng phương pháp phún xạ, đặc biệt là công nghệ phủ màng bằng phún xạ magnetron, hiện nay, bất kỳ vật liệu nào cũng có thể được chế tạo bằng màng bia bắn phá ion. Vì bia được phún xạ trong quá trình phủ lên một loại chất nền nào đó, chất lượng của màng được đo có ảnh hưởng rất quan trọng, do đó, yêu cầu đối với vật liệu bia cũng khắt khe hơn. Trong việc lựa chọn vật liệu bia, ngoài việc lựa chọn bản thân màng cần phải đáp ứng các yêu cầu sau, cũng cần xem xét các vấn đề sau:
Vật liệu đích cần có độ bền cơ học và độ ổn định hóa học tốt sau khi tạo màng;
Mục tiêu và chất nền phải được kết hợp chặt chẽ, nếu không thì cần phải sử dụng chất nền có lớp màng kết hợp tốt, trước tiên phủ một lớp màng nền bằng phương pháp phún xạ, sau đó mới chuẩn bị lớp màng cần thiết;
Trong phản ứng phun phủ lên màng vật liệu, vật liệu phải dễ dàng phản ứng với khí để tạo ra một lớp màng hợp chất.
Trên cơ sở đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất của màng, sự khác biệt giữa hệ số giãn nở nhiệt của vật liệu đích và chất nền phải càng nhỏ càng tốt, nhằm giảm thiểu ảnh hưởng của ứng suất nhiệt lên màng được lắng đọng bằng phương pháp phún xạ.
Theo yêu cầu về công dụng và hiệu năng của màng lọc, vật liệu cần lọc phải đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật về độ tinh khiết, hàm lượng tạp chất, độ đồng nhất thành phần, độ chính xác gia công và các yêu cầu khác.
–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 09/01/2024