اختيار وتصنيف الأهداف

مع التطور المتزايد لتقنية الطلاء بالرش، وخاصةً تقنية الطلاء بالرش المغناطيسي، أصبح من الممكن حاليًا تحضير أي مادة باستخدام طبقة هدف قصف الأيونات. ونظرًا لأن الهدف يُرش أثناء عملية الطلاء على أي نوع من الركائز، فإن جودة الطبقة المقاسة تؤثر بشكل كبير، وبالتالي، أصبحت متطلبات مادة الهدف أكثر دقة. عند اختيار مادة الهدف، بالإضافة إلى اختيار الطبقة نفسها، يجب مراعاة النقاط التالية:

ينبغي أن تتمتع المادة المستهدفة بقوة ميكانيكية جيدة واستقرار كيميائي بعد تكوين الفيلم؛

يجب دمج الهدف والركيزة بإحكام، وإلا فيجب أخذها مع الركيزة التي تحتوي على مزيج جيد من طبقة الغشاء، أولاً رش طبقة أساسية ثم تحضير طبقة الغشاء المطلوبة؛

يجب أن يكون التفاعل الناتج عن التذرية في مادة الغشاء سهلاً للتفاعل مع الغاز لتكوين طبقة مركبة.

انطلاقاً من مبدأ تلبية متطلبات أداء الغشاء، يكون الفرق بين معامل التمدد الحراري للمادة المستهدفة والركيزة صغيراً قدر الإمكان، وذلك لتقليل تأثير الإجهاد الحراري على الغشاء المرشوش.

وفقًا لمتطلبات استخدام وأداء الغشاء، يجب أن تستوفي المادة المستهدفة معايير النقاء، ومحتوى الشوائب، وتجانس المكونات، ودقة التصنيع، وغيرها من المتطلبات الفنية.

– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا