ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍកាន់តែខ្លាំងឡើងនៃថ្នាំកូត sputtering ជាពិសេសបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត sputtering magnetron នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ សម្រាប់សម្ភារៈណាមួយអាចត្រូវបានរៀបចំដោយខ្សែភាពយន្តគោលដៅទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង ដោយសារតែគោលដៅត្រូវបាន sputtering នៅក្នុងដំណើរការនៃការស្រោបវាទៅនឹងស្រទាប់ខាងក្រោមមួយចំនួន គុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តវាស់ស្ទង់មានផលប៉ះពាល់យ៉ាងសំខាន់ ដូច្នេះតម្រូវការសម្រាប់សម្ភារៈគោលដៅក៏កាន់តែតឹងរ៉ឹងផងដែរ។ ក្នុងការជ្រើសរើសសម្ភារៈគោលដៅ បន្ថែមពីលើការប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តខ្លួនឯងគួរតែត្រូវបានជ្រើសរើស ក៏គួរពិចារណាលើបញ្ហាដូចខាងក្រោម៖
សម្ភារៈគោលដៅគួរតែមានកម្លាំងមេកានិចល្អ និងស្ថេរភាពគីមីបន្ទាប់ពីខ្សែភាពយន្ត;
គោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវតែបញ្ចូលគ្នាយ៉ាងរឹងមាំ បើមិនដូច្នោះទេ វាគួរតែត្រូវបានយកជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានការរួមបញ្ចូលគ្នាល្អនៃស្រទាប់ភ្នាស ដំបូងបាញ់ខ្សែភាពយន្តមូលដ្ឋាន ហើយបន្ទាប់មករៀបចំស្រទាប់ភ្នាសដែលត្រូវការ;
ក្នុងនាមជាប្រតិកម្មមួយ ការបាញ់ចូលទៅក្នុងសម្ភារៈភ្នាសត្រូវតែងាយស្រួលក្នុងការធ្វើប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័ន ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុ។
ក្រោមគោលការណ៍នៃការបំពេញតាមតម្រូវការដំណើរការរបស់ភ្នាស ភាពខុសគ្នារវាងមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅនៃវត្ថុធាតុគោលដៅ និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺតូចបំផុតតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន ដើម្បីកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃភាពតានតឹងកម្ដៅលើភ្នាសដែលប្រឡាក់។
យោងតាមតម្រូវការប្រើប្រាស់ និងការអនុវត្តនៃភ្នាស សម្ភារៈគោលដៅត្រូវតែបំពេញតាមភាពបរិសុទ្ធ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធ ឯកសណ្ឋាននៃសមាសធាតុ ភាពត្រឹមត្រូវនៃម៉ាស៊ីន និងតម្រូវការបច្ចេកទេសផ្សេងទៀត។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ មករា-០៩-២០២៤