Wraz z rozwojem technologii napylania jonowego, a zwłaszcza technologii napylania magnetronowego, obecnie możliwe jest przygotowanie warstwy tarczy z dowolnego materiału metodą bombardowania jonowego. Ponieważ tarcza jest napylana w procesie powlekania określonego rodzaju podłoża, jakość mierzonej warstwy ma istotny wpływ, dlatego też wymagania dotyczące materiału tarczy są bardziej rygorystyczne. Przy wyborze materiału tarczy, oprócz zastosowania samej warstwy, należy również uwzględnić następujące kwestie:
Materiał docelowy powinien mieć dobrą wytrzymałość mechaniczną i stabilność chemiczną po nałożeniu powłoki;
Cel i podłoże muszą być ściśle połączone, w przeciwnym razie należy je połączyć z podłożem, aby uzyskać dobrą kombinację warstwy membrany, najpierw rozpylając film bazowy, a następnie przygotowując wymaganą warstwę membrany;
Aby reakcja przebiegała w wyniku rozpylania natryskowego, materiał membrany musi łatwo reagować z gazem, tworząc warstwę złożoną.
Aby spełnić wymagania dotyczące wydajności membrany, różnica między współczynnikiem rozszerzalności cieplnej materiału docelowego i podłoża powinna być jak najmniejsza, co pozwala zminimalizować wpływ naprężeń cieplnych na napyloną membranę.
Zgodnie z wymaganiami dotyczącymi zastosowania i wydajności membrany, materiał docelowy musi spełniać wymagania dotyczące czystości, zawartości zanieczyszczeń, jednorodności komponentów, dokładności obróbki i inne wymagania techniczne.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 09-01-2024