Filifiliga ma le Fa'avasegaga o le Sini

Faatasi ai ma le faatupulaia o le atinaeina o le ufiufi sputtering, aemaise lava le tekinolosi ufiufi magnetron sputtering, i le taimi nei, mo soʻo se meafaitino e mafai ona saunia e ala i le ion bombardment target film, ona o le sini e sputtering i le faagasologa o le ufiufiina i se ituaiga substrate, o le lelei o le ata na fuaina e iai sona aafiaga taua, o lea la, o manaoga mo le mea e faamoemoe i ai e sili atu foi ona faigata. I le filifilia o mea e faamoemoe i ai, e faaopoopo atu i le faaaogaina o le ata lava ia e tatau ona filifilia, e tatau foi ona mafaufau i mataupu nei:

E tatau ona i ai le malosi lelei fa'amekanika ma le mautu fa'akemikolo i le mea fa'amoemoeina pe a uma le ata tifaga;

E tatau ona tuʻufaʻatasia lelei le sini ma le substrate, a leai e tatau ona faʻatasi ma le substrate o loʻo i ai se tuʻufaʻatasiga lelei o le membrane layer, muamua sputtering se ata tifaga faʻavae ona saunia lea o le membrane layer manaʻomia;

I le avea ai o se tali atu o le fe'a'ei i totonu o le membrane e tatau ona faigofie ona tali atu ma le kesi e fausia ai se ata tifaga tu'ufa'atasi.

I lalo o le faʻavae o le faʻataunuʻuina o manaʻoga faʻatino o le membrane, o le eseesega i le va o le coefficient o le faʻalauteleina o le vevela o le mea faʻatatau ma le substrate e laʻititi lava e mafai ai, ina ia faʻaitiitia ai le aafiaga o le atuatuvalega vevela i luga o le membrane sputtered.

E tusa ai ma manaʻoga faʻaoga ma le faʻatinoga o le membrane, e tatau i le mea faʻamoemoe ona ausia le mama, mea le mama, tutusa o vaega, saʻo o le masini ma isi manaʻoga faʻapitoa.

–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua