С развитием технологии магнетронного распыления, особенно магнетронного распыления, в настоящее время с помощью ионно-бомбардировочной мишени можно получить пленку из любого материала. Поскольку мишень распыляется в процессе нанесения покрытия на подложку, качество получаемой пленки имеет важное значение, поэтому требования к материалу мишени также стали более строгими. При выборе материала мишени, помимо выбора самой пленки, следует также учитывать следующие моменты:
После нанесения пленки целевой материал должен обладать хорошей механической прочностью и химической стабильностью;
Мишень и подложка должны быть прочно соединены, в противном случае следует использовать подложку с хорошим сцеплением мембранного слоя, сначала нанеся базовую пленку методом магнетронного распыления, а затем подготовив необходимый мембранный слой;
В результате реакции распыления в материал мембраны необходимо обеспечить легкое взаимодействие с газом для образования пленочного соединения.
При условии соответствия требованиям к эксплуатационным характеристикам мембраны, разница между коэффициентом теплового расширения материала мишени и подложки должна быть как можно меньше, чтобы минимизировать влияние термических напряжений на напыленную мембрану.
В соответствии с требованиями к применению и характеристикам мембраны, целевой материал должен отвечать требованиям к чистоте, содержанию примесей, однородности компонентов, точности обработки и другим техническим требованиям.
– Данная статья опубликованапроизводитель вакуумных напыляемых машинГуандун Чжэньхуа
Дата публикации: 09.01.2024