Dengan perkembangan salutan percikan yang semakin meningkat, terutamanya teknologi salutan percikan magnetron, pada masa ini, filem sasaran pengeboman ion boleh disediakan untuk sebarang bahan. Kerana sasaran dispersi dalam proses salutannya kepada beberapa jenis substrat, kualiti filem yang diukur mempunyai kesan yang penting, oleh itu, keperluan untuk bahan sasaran juga lebih ketat. Dalam pemilihan bahan sasaran, selain penggunaan filem itu sendiri, isu-isu berikut juga perlu dipertimbangkan:
Bahan sasaran harus mempunyai kekuatan mekanikal dan kestabilan kimia yang baik selepas filem;
Sasaran dan substrat mesti digabungkan dengan kukuh, jika tidak, ia perlu diambil dengan substrat yang mempunyai gabungan lapisan membran yang baik, pertama sekali memercikkan filem asas dan kemudian penyediaan lapisan membran yang diperlukan;
Sebagai tindak balas, percikan ke dalam bahan membran mestilah mudah bertindak balas dengan gas untuk menghasilkan filem sebatian.
Di bawah premis memenuhi keperluan prestasi membran, perbezaan antara pekali pengembangan haba bahan sasaran dan substrat adalah sekecil mungkin, untuk meminimumkan pengaruh tekanan haba pada membran yang tergagap-gagap.
Mengikut keperluan penggunaan dan prestasi membran, bahan sasaran mesti memenuhi ketulenan, kandungan bendasing, keseragaman komponen, ketepatan pemesinan dan keperluan teknikal yang lain.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: 9-Jan-2024