Сиптерү каплавы, бигрәк тә магнетрон сиптерү каплавы технологиясе үсеше белән, хәзерге вакытта теләсә нинди материал өчен ион бомбардированиесе ярдәмендә максатлы пленка әзерләргә мөмкин, чөнки максат ниндидер субстратка каплау процессында сиптерелә, үлчәнгән пленканың сыйфаты мөһим йогынты ясый, шуңа күрә максатлы материалга таләпләр дә катгыйрак. Максатлы материалны сайлаганда, пленканың үзен кулланудан тыш, түбәндәге мәсьәләләрне дә исәпкә алырга кирәк:
Максатчан материал пленкадан соң яхшы механик ныклыкка һәм химик тотрыклылыкка ия булырга тиеш;
Максат һәм субстрат нык кушылырга тиеш, югыйсә аны субстрат мембрана катламының яхшы кушылмасы белән алырга кирәк, башта нигез пленкасын сиптерергә, аннары кирәкле мембрана катламын әзерләргә кирәк;
Реакция буларак, мембрана материалына сиптерү газ белән җиңел реакциягә керергә һәм кушылма пленка барлыкка китерергә тиеш.
Мембрананың эш таләпләрен канәгатьләндерү шарты астында, максатлы материалның һәм нигезнең җылылык киңәю коэффициенты арасындагы аерма мөмкин кадәр аз булырга тиеш, шул рәвешле сиптерелгән мембранага җылылык көчәнеше йогынтысын минимальләштерергә кирәк.
Мембрананың куллану һәм эшләү таләпләренә туры китереп, максатчан материал сафлыкка, пычраклык күләменә, компонентларның бердәмлегенә, эшкәртү төгәллегенә һәм башка техник таләпләргә туры килергә тиеш.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2024 елның 9 гыйнвары