स्पटरिंग कोटिंगच्या, विशेषतः मॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग तंत्रज्ञानाच्या वाढत्या विकासामुळे, सध्या कोणत्याही पदार्थासाठी आयन बॉम्बार्डमेंटद्वारे टार्गेट फिल्म तयार केली जाऊ शकते. कारण एखाद्या सब्सट्रेटवर कोटिंग करण्याच्या प्रक्रियेत टार्गेटचे स्पटरिंग केले जाते, त्यामुळे तयार होणाऱ्या फिल्मच्या गुणवत्तेवर महत्त्वाचा परिणाम होतो. म्हणूनच, टार्गेट पदार्थासाठीच्या आवश्यकता देखील अधिक कठोर झाल्या आहेत. टार्गेट पदार्थाची निवड करताना, केवळ फिल्मच्या वापराची निवड करण्याव्यतिरिक्त, खालील बाबींचाही विचार केला पाहिजे:
फिल्म तयार झाल्यानंतर लक्ष्यित सामग्रीमध्ये चांगली यांत्रिक शक्ती आणि रासायनिक स्थिरता असली पाहिजे;
लक्ष्य आणि सब्सट्रेट घट्टपणे जोडलेले असले पाहिजेत, अन्यथा सब्सट्रेटवर पडद्याच्या थराचे चांगले संयोजन असल्यास, प्रथम बेस फिल्मचे स्पटरिंग करून आणि नंतर आवश्यक पडद्याचा थर तयार करून हे केले पाहिजे;
अभिक्रिया म्हणून, पडद्याच्या पदार्थात स्फुटन होत असताना, संयुक्त थर तयार करण्यासाठी तो वायूशी सहजपणे अभिक्रिया करणारा असावा.
मेम्ब्रेनच्या कार्यक्षमतेच्या आवश्यकतांची पूर्तता करण्याच्या अटीवर, टार्गेट मटेरियल आणि सबस्ट्रेटच्या थर्मल एक्सपान्शन गुणांकातील फरक शक्य तितका कमी ठेवला जातो, जेणेकरून स्पटर केलेल्या मेम्ब्रेनवरील थर्मल स्ट्रेसचा प्रभाव कमीत कमी करता येईल.
मेम्ब्रेनच्या वापर आणि कार्यक्षमतेच्या आवश्यकतांनुसार, लक्ष्य सामग्रीने शुद्धता, अशुद्धतेचे प्रमाण, घटकांची एकरूपता, मशीनिंग अचूकता आणि इतर तांत्रिक आवश्यकता पूर्ण केल्या पाहिजेत.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादकग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: ०९-जानेवारी-२०२४