Шашырату жабындарының, әсіресе магнетронды шашырату жабыны технологиясының дамуымен қазіргі уақытта кез келген материал үшін иондық бомбалау арқылы нысана пленкасын дайындауға болады, себебі нысана қандай да бір негізге шашыратылады, өлшенетін пленканың сапасы маңызды әсер етеді, сондықтан нысана материалына қойылатын талаптар да қатаңырақ. Нысаналы материалды таңдағанда, пленканың өзін пайдаланумен қатар, келесі мәселелерді де ескеру қажет:
Мақсатты материал пленкадан кейін жақсы механикалық беріктікке және химиялық тұрақтылыққа ие болуы керек;
Нысана мен негіз мықтап біріктірілуі керек, әйтпесе оны алдымен негізгі пленканы шашыратып, содан кейін қажетті мембрана қабатын дайындау арқылы мембрана қабатының жақсы үйлесімі бар субстратпен бірге алу керек;
Реакция ретінде мембраналық материалға шашыраған кезде қосылыс қабықшасын түзу үшін газбен оңай әрекеттесуі керек.
Мембрананың өнімділік талаптарын қанағаттандыру шарты бойынша, нысана материалының және негіздің жылулық кеңею коэффициенті арасындағы айырмашылық мүмкіндігінше аз болуы керек, бұл шашыраған мембранаға жылулық кернеудің әсерін азайтуға мүмкіндік береді.
Мембрананың пайдалану және өнімділік талаптарына сәйкес, нысана материалы тазалыққа, қоспа құрамына, компоненттердің біркелкілігіне, өңдеу дәлдігіне және басқа да техникалық талаптарға сай болуы керек.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 9 қаңтар