Nhọrọ na Nhazi Ebumnuche

Ka mmepe nke mkpuchi sputtering na-abawanye, ọkachasị teknụzụ mkpuchi magnetron sputtering, ugbu a, enwere ike ịkwadebe ihe ọ bụla site na ihe nkiri ion bombardment, n'ihi na ihe a na-etinye na ya na ụdị substrate, ogo nke ihe nkiri a tụrụ nwere mmetụta dị mkpa, ya mere, ihe achọrọ maka ihe a na-atụ anya ya dịkwa oke njọ. Na nhọrọ nke ihe a na-atụ anya ya, na mgbakwunye na iji ihe nkiri ahụ n'onwe ya, a ga-atụlekwa okwu ndị a:

Ihe e ji mee ihe kwesịrị inwe ike igwe dị mma na nkwụsi ike kemịkalụ mgbe ihe nkiri ahụ gasịrị;

A ghaghị ijikọta ihe mgbaru ọsọ na ihe mkpuchi ahụ nke ọma, ma ọ bụghị ya, a ga-ewere ya na ihe mkpuchi ahụ nwere ezigbo ngwakọta nke oyi akwa akpụkpọ ahụ, na-ebu ụzọ fesa ihe nkiri isi wee kwadebe oyi akwa akpụkpọ ahụ achọrọ;

Dị ka mmeghachi omume sputtering n'ime ihe mkpuchi ahụ ga-adị mfe imeghachi omume na gas iji mepụta ihe nkiri mejupụtara.

N'okpuru atụmatụ nke imezu ihe achọrọ maka arụmọrụ nke akpụkpọ ahụ, ọdịiche dị n'etiti oke mgbasawanye okpomọkụ nke ihe a na-elekwasị anya na substrate dị obere dịka o kwere mee, iji belata mmetụta nke nrụgide okpomọkụ na akpụkpọ ahụ a pịrị apị.

Dịka ihe eji eme ihe na ihe eji arụ ọrụ nke akpụkpọ ahụ si dị, ihe a chọrọ ga-emezu ịdị ọcha, ọdịnaya adịghị ọcha, otu ihe mejupụtara ya, izi ezi nke igwe na ihe ndị ọzọ achọrọ maka teknụzụ.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua