1. malylylyk CVD tehnologiýasy
Gaty örtükler, esasan, örtükdäki metalyň reaksiýasy we reaktiw gazlaşmagy netijesinde emele gelýän metal keramiki örtüklerdir (TiN we ş.m.).Ilki bilen termal CVD tehnologiýasy, 1000 a ýokary temperaturada ýylylyk energiýasy bilen kombinasiýa reaksiýasynyň işjeňleşdirme energiýasyny üpjün etmek üçin ulanyldy.Bu temperatura diňe TiN we beýleki gaty örtükleri sementlenen karbid gurallaryna goýmak üçin amatlydyr.Şu wagta çenli sementlenen karbid gurallarynyň kellelerine TiN-Al20 birleşdirilen örtükleri goýmak möhüm tehnologiýa bolup durýar.
2. Boş katod ion örtügi we gyzgyn sim ark ion örtügi
1980-nji ýyllarda örtülen kesiş gurallaryny goýmak üçin içi boş katod ion örtügi we gyzgyn sim arkasy ion örtügi ulanyldy.Bu ion örtük tehnologiýalarynyň ikisi, demir ionlaşdyrma derejesi 20% ~ 40% -e çenli ýaýly ion ion örtük tehnologiýalarydyr.
3. Katod ark ion örtügi
Katod ark ion örtüginiň peýda bolmagy, gaty örtükleri galyplara goýmak tehnologiýasynyň ösmegine sebäp boldy.Katod arka ion örtüginiň ionlaşma derejesi 60% ~ 90% bolup, köp mukdarda metal ionlaryna we reaksiýa gaz ionlaryna iş böleginiň üstüne ýetmäge we henizem ýokary işjeňligi saklamaga mümkinçilik berýär, netijede reaksiýa çökýär we gaty örtükler emele gelýär. TiN.Häzirki wagtda katodiki ark ion örtük tehnologiýasy esasan galyplara gaty örtükleri goýmak üçin ulanylýar.
Katod ýaý çeşmesi, erän howuzsyz gaty bugarmak çeşmesidir we ýaý çeşmesiniň ýagdaýy özbaşdak ýerleşdirilip, örtük otagynyň giňişlik ulanylyş tizligini ýokarlandyryp, peçiň ýükleniş kuwwatyny ýokarlandyryp biler.Katod ýaý çeşmeleriniň şekillerine ownuk tegelek katod ýaý çeşmeleri, sütün ýaý çeşmeleri we gönüburçly tekiz uly ýaý çeşmeleri girýär.Kiçijik ýaý çeşmeleriniň dürli sütünleri, sütün ýaý çeşmeleri we uly ýaý çeşmeleri köp gatlakly filmleri we nano köp gatlakly filmleri goýmak üçin aýratyn tertipleşdirilip bilner.Bu aralykda, katod ark ion örtüginiň ýokary metal ionlaşma derejesi sebäpli, metal ionlary has köp reaksiýa gazlaryny siňdirip biler, netijede gaty gaty örtük almak üçin giň proses diapazony we ýönekeý iş.Şeýle-de bolsa, katod arka ion örtügi bilen alnan örtük gatlagynyň mikrostrukturasynda gödek damjalar bar.Soňky ýyllarda ýaý ion örtügi filminiň hilini ýokarlandyran film gatlagynyň gurluşyny arassalamak üçin köp täze tehnologiýalar ýüze çykdy.
—— Bu makala Guangdong Zhenhua Technology, aoptiki örtük maşynlaryny öndüriji.
Iş wagty: 28-2023-nji aprel