1. Termal CVD tehnologiýasy
Gaty örtükler, esasan, metal keramik örtüklerdir (TiN we ş.m.), olar örtükde metalyň reaksiýasy we reaktiw gazlaşdyrma arkaly emele gelýär. Ilki başda, 1000 ℃ ýokary temperaturada termal energiýa arkaly birleşdirilen reaksiýanyň aktiwleşdiriş energiýasyny üpjün etmek üçin termal CVD tehnologiýasy ulanyldy. Bu temperatura diňe sementlenen karbid gurallaryna TiN we beýleki gaty örtükleri goýmak üçin amatlydyr. Häzirlikçe, sementlenen karbid gurallarynyň başlaryna TiN-Al20 kompozit örtüklerini goýmak möhüm tehnologiýa bolup durýar.
2. Içi boş katod ion örtügi we gyzgyn simli ýaý ion örtügi
1980-nji ýyllarda örtülen kesiji gurallary goýmak üçin içi boş katod ion örtügi we gyzgyn simli ýaýly ion örtügi ulanyldy. Bu ion örtük tehnologiýalarynyň ikisi hem ýaýly boşaltma ion örtük tehnologiýalary bolup, metalyň ionlaşma tizligi 20% ~ 40% çenli.
3. Katod ýaý ion örtügi
Katodik ýaý ion örtüginiň peýda bolmagy galyplara berk örtükleri goýmak tehnologiýasynyň ösmegine getirdi. Katodik ýaý ion örtüginiň ionlaşma tizligi 60% ~ 90% -e deňdir, bu bolsa köp sanly metal ionlarynyň we reaksiýa gaz ionlarynyň iş böleginiň ýüzüne ýetmegine we ýokary işjeňligini saklamagyna mümkinçilik berýär, netijede reaksiýa çökündisi we TiN ýaly berk örtükleriň emele gelmegine getirýär. Häzirki wagtda katod ýaý ion örtük tehnologiýasy esasan galyplara berk örtükleri goýmak üçin ulanylýar.
Katod ýaý çeşmesi berk ereýän howuzsyz gaty ýagdaýly buharlanma çeşmesidir we ýaý çeşmesiniň ýerleşýän ýerini islendik ýagdaýda ýerleşdirip bolýar, bu bolsa örtük otagynyň giňişligini ulanmak tizligini ýokarlandyrýar we peçiň ýükleme ukybyny artdyrýar. Katod ýaý çeşmeleriniň görnüşlerine kiçi tegelek katod ýaý çeşmeleri, sütunly ýaý çeşmeleri we gönüburçly tekiz uly ýaý çeşmeleri girýär. Kiçi ýaý çeşmeleriniň, sütunly ýaý çeşmeleriniň we uly ýaý çeşmeleriniň dürli bölekleri köp gatlakly plýonkalary we nano köp gatlakly plýonkalary goýmak üçin aýratyn ýerleşdirilip bilner. Şol bir wagtyň özünde, katod ýaý ion örtüginiň ýokary metal ionlaşma tizligi sebäpli, metal ionlary has köp reaksiýa gazlaryny özüne siňdirip bilýär, bu bolsa ajaýyp berk örtükleri almak üçin giň proses diapazonyny we ýönekeý işleýşi üpjün edýär. Şeýle-de bolsa, katod ýaý ion örtügi bilen alnan örtük gatlagynyň mikrostrukturynda iri damjalar bar. Soňky ýyllarda plýonka gatlagynyň gurluşyny kämilleşdirmek üçin köp täze tehnologiýalar peýda boldy, bu bolsa ýaý ion örtük plýonkasynyň hilini gowulandyrdy.
——Bu makala Guangdong Zhenhua Technology tarapyndan çap edildioptiki örtük maşynlaryny öndüriji.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 28-nji apreli