1. Технологияи гармидиҳии CVD
Рӯйпӯшҳои сахт асосан пӯшишҳои сафолии металлӣ (TiN ва ғайра) мебошанд, ки дар натиҷаи реаксияи металл дар пӯшиш ва газификатсияи реактивӣ ба вуҷуд меоянд. Дар аввал, технологияи гармии CVD барои таъмини энергияи фаъолсозии реаксияи якҷоя бо энергияи гармӣ дар ҳарорати баланди 1000 ℃ истифода мешуд. Ин ҳарорат танҳо барои гузоштани TiN ва дигар пӯшишҳои сахт дар асбобҳои карбиди сементшуда мувофиқ аст. То ҳол, гузоштани пӯшишҳои таркибии TiN-Al20 дар сари асбобҳои карбиди сементшуда як технологияи муҳим аст.
2. Пӯшиши ионии катоди холӣ ва рӯйпӯши ионии камонии сими гарм
Дар солҳои 1980-ум, пӯшиши ионии катоди холӣ ва пӯшиши ионии камонии сими гарм барои гузоштани асбобҳои буриши пӯшонидашуда истифода мешуданд. Ҳардуи ин технологияҳои пӯшиши ионӣ технологияҳои пӯшиши ионии разряди камон мебошанд, ки суръати ионизатсияи металл то 20% ~ 40% -ро ташкил медиҳанд.
3. Пӯшиши ионии камони катодӣ
Пайдоиши рӯйпӯши ионии камонии катодӣ боиси рушди технологияи гузоштани рӯйпӯшҳои сахт ба қолабҳо гардид. Суръати ионизатсияи рӯйпӯши ионии камонии катодӣ 60% ~ 90% аст, ки имкон медиҳад, ки шумораи зиёди ионҳои металлӣ ва ионҳои гази реаксия ба сатҳи коргоҳ расанд ва фаъолияти баландро нигоҳ доранд, ки дар натиҷа таҳшиншавии реаксия ва ташаккули рӯйпӯшҳои сахт ба монанди TiN ба амал меояд. Дар айни замон, технологияи рӯйпӯши ионии камонии катодӣ асосан барои гузоштани рӯйпӯшҳои сахт ба қолабҳо истифода мешавад.
Манбаи камони катод як манбаи бухоршавии ҳолати сахт бидуни ҳавзи гудохтаи собит аст ва мавқеи манбаи камонро метавон ба таври худсарона ҷойгир кард, ки суръати истифодаи фазои утоқи пӯшишро беҳтар мекунад ва иқтидори боркунии кӯраро зиёд мекунад. Шаклҳои манбаъҳои камони катод манбаъҳои хурди даврашакли камони катод, манбаъҳои камони сутунӣ ва манбаъҳои камони калони ҳамвори росткунҷаро дар бар мегиранд. Ҷузъҳои гуногуни манбаъҳои хурди камон, манбаъҳои камони сутунӣ ва манбаъҳои камони калонро метавон алоҳида барои ҷойгир кардани плёнкаҳои бисёрқабата ва плёнкаҳои бисёрқабата нано ҷойгир кард. Дар айни замон, аз сабаби суръати баланди ионизатсияи металлӣ дар пӯшиши ионии камони катодӣ, ионҳои металлӣ метавонанд газҳои реаксияи бештарро ҷаббида гиранд, ки дар натиҷа доираи васеи равандҳо ва кори содда барои ба даст овардани пӯшишҳои аълои сахт ба даст оварда мешаванд. Бо вуҷуди ин, дар микросохтори қабати пӯшиш қатраҳои дағал мавҷуданд, ки бо пӯшиши ионии камони катодӣ ба даст оварда шудаанд. Дар солҳои охир, бисёр технологияҳои нав барои такмил додани сохтори қабати плёнка пайдо шудаанд, ки сифати плёнкаи пӯшиши ионии камонро беҳтар кардааст.
——Ин мақола аз ҷониби Guangdong Zhenhua Technology нашр шудааст.истеҳсолкунандаи мошинҳои пӯшонидани оптикӣ.
Вақти нашр: 28 апрели соли 2023