1. Технологияи гармидиҳии CVD
Пӯшишҳои сахт асосан рӯйпӯшҳои сафолии металлӣ (TiN ва ғ.) мебошанд, ки дар натиҷаи реаксияи металл дар рӯйпӯш ва газизатсияи реактивӣ ба вуҷуд меоянд.Дар аввал, технологияи гармидиҳии CVD барои таъмини энергияи фаъолсозии реаксияи омехта бо энергияи гармӣ дар ҳарорати баланди 1000 ℃ истифода мешуд.Ин ҳарорат танҳо барои гузоштани TiN ва дигар рӯйпӯшҳои сахт дар асбобҳои карбиди сементшуда мувофиқ аст.То ҳол, он ҳанӯз ҳам технологияи муҳими гузоштани пӯшишҳои таркибии TiN-Al20 дар сари асбобҳои сементшудаи карбид мебошад.
2. Сарпӯши ion катодӣ нахӯрад ва молидани ion камон сим гарм
Дар солҳои 1980-ум барои гузоштани асбобҳои буриши бо рӯйпӯшшуда рӯйпӯши ионҳои катодӣ ва қабати ионҳои сими гарм истифода мешуданд.Ҳардуи ин технологияҳои рӯйпӯшкунии ионҳо технологияҳои разряди ионҳои камон мебошанд, ки суръати ионизатсияи металл то 20% ~ 40% мебошанд.
3. Сарпӯши ионҳои камони катодӣ
Ба вуљуд омадани рўйпўши ионњои катодї боиси инкишоф ёфтани технологияи дар ќолабњо гузоштани рўйпўшњои сахт гардид.Сатҳи ионизатсияи рӯйпӯши ионҳои катодӣ 60% ~ 90% аст, ки ба шумораи зиёди ионҳои металлӣ ва ионҳои гази реаксия имкон медиҳад, ки ба сатҳи порчаи корӣ бирасанд ва ҳоло ҳам фаъолияти баландро нигоҳ доранд, ки боиси таҳшиншавии реаксия ва ташаккули рӯйпӯшҳои сахт ба монанди ТиН.Дар айни замон, технологияи рӯйпӯшкунии ионҳои катодӣ асосан барои гузоштани рӯйпӯшҳои сахт дар қолабҳо истифода мешавад.
Манбаи камони катод манбаи бухоршавии ҳолати сахти бе ҳавзи гудохташуда мебошад ва мавқеъи манбаи камон метавонад ба таври худсарона ҷойгир карда шавад, ки ин суръати истифодаи фазои ҳуҷраи рӯйпӯшро беҳтар мекунад ва иқтидори боркунии оташдонро зиёд мекунад.Ба шаклҳои манбаъҳои камони катодӣ сарчашмаҳои камони катодҳои даврашакл, манбаъҳои камонҳои сутунӣ ва сарчашмаҳои камони калони росткунҷаи ҳамвор дохил мешаванд.Қисмҳои гуногуни манбаъҳои камонҳои хурд, манбаъҳои камонҳои сутунӣ ва манбаъҳои камонҳои калон метавонанд барои гузоштани филмҳои бисёрқабата ва филмҳои бисёрқабати наноқабата ҷудо карда шаванд.Дар ҳамин ҳол, аз сабаби суръати баланди ионизатсияи металлии рӯйпӯши ионҳои катодӣ, ионҳои металлӣ метавонанд газҳои реаксияи бештарро ба худ гиранд, ки дар натиҷа доираи васеи раванд ва кори оддӣ барои ба даст овардани қабатҳои аълои сахт оварда мерасонад.Бо вуҷуди ин, дар микроструктураи қабати пӯшиш қатраҳои дағал мавҷуданд, ки бо пӯшиши ионҳои катодӣ ба даст оварда шудаанд.Дар солхои охир барои такмил додани сохти кабати плёнка бисьёр технологияхои нав ба вучуд омаданд, ки ин сифати плёнкаи ионхои камонпушкуниро бехтар кард.
——Ин маколаро аз тарафи Гуандун Чжэнхуа Технология, аистехсолкунан-даи машинахои оптикии рпуш.
Вақти фиристодан: апрел-28-2023