1. 열화학 기상 증착(CVD) 기술
경질 코팅은 주로 금속 세라믹 코팅(TiN 등)으로, 코팅 내 금속의 반응과 반응성 가스화에 의해 형성됩니다. 초기에는 열화학 기상 증착(CVD) 기술을 이용하여 1000℃의 고온에서 열에너지를 통해 결합 반응의 활성화 에너지를 공급했습니다. 이 온도는 초경 공구에 TiN을 비롯한 경질 코팅을 증착하는 데에만 적합했습니다. 현재까지도 초경 공구 헤드에 TiN-Al20 복합 코팅을 증착하는 기술은 중요한 기술로 남아 있습니다.
2. 중공 음극 이온 코팅 및 열선 아크 이온 코팅
1980년대에는 중공 음극 이온 코팅과 열선 아크 이온 코팅이 절삭 공구 코팅에 사용되었습니다. 이 두 가지 이온 코팅 기술 모두 아크 방전 이온 코팅 기술이며, 금속 이온화율은 최대 20%~40%에 달합니다.
3. 음극 아크 이온 코팅
음극 아크 이온 코팅 기술의 등장으로 금형에 경질 코팅을 증착하는 기술이 발전하게 되었습니다. 음극 아크 이온 코팅의 이온화율은 60%~90%에 달하여 다량의 금속 이온과 반응 가스 이온이 공작물 표면에 도달하여 높은 활성을 유지할 수 있으며, 그 결과 반응 증착을 통해 TiN과 같은 경질 코팅이 형성됩니다. 현재 음극 아크 이온 코팅 기술은 주로 금형에 경질 코팅을 증착하는 데 사용되고 있습니다.
음극 아크 소스는 고정된 용융 풀이 없는 고체 증발 소스로, 아크 소스의 위치를 임의로 지정할 수 있어 코팅실의 공간 활용률을 높이고 용광로의 적재 용량을 증가시킬 수 있습니다. 음극 아크 소스의 형태는 소형 원형 아크 소스, 원기둥형 아크 소스, 직사각형 평면형 대형 아크 소스 등이 있습니다. 소형 아크 소스, 원기둥형 아크 소스, 대형 아크 소스는 구성 요소를 개별적으로 배치하여 다층막 및 나노 다층막을 증착할 수 있습니다. 또한, 음극 아크 이온 코팅은 금속 이온화율이 높아 금속 이온이 더 많은 반응 가스를 흡수할 수 있으므로 공정 범위가 넓고 조작이 간편하여 우수한 경질 코팅을 얻을 수 있습니다. 그러나 음극 아크 이온 코팅으로 얻은 코팅층의 미세 구조에는 조대한 액적들이 존재합니다. 최근에는 이러한 코팅층의 구조를 개선하는 다양한 신기술이 개발되어 아크 이온 코팅막의 품질이 향상되었습니다.
——본 기사는 광둥전화테크놀로지에서 발표했습니다.광학 코팅 기계 제조업체.
게시 시간: 2023년 4월 28일

