១. បច្ចេកវិទ្យា CVD កម្ដៅ
ថ្នាំកូតរឹងភាគច្រើនជាថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចដែក (TiN ជាដើម) ដែលត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយប្រតិកម្មនៃលោហៈនៅក្នុងថ្នាំកូត និងឧស្ម័នប្រតិកម្ម។ ដំបូងឡើយ បច្ចេកវិទ្យា CVD កម្ដៅត្រូវបានប្រើដើម្បីផ្តល់ថាមពលធ្វើឱ្យសកម្មនៃប្រតិកម្មរួមបញ្ចូលគ្នាដោយថាមពលកម្ដៅនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ 1000 ℃។ សីតុណ្ហភាពនេះគឺសមរម្យសម្រាប់តែការដាក់ TiN និងថ្នាំកូតរឹងផ្សេងទៀតលើឧបករណ៍ស៊ីម៉ង់ត៍កាប៊ីតប៉ុណ្ណោះ។ រហូតមកដល់ពេលនេះ វានៅតែជាបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់មួយក្នុងការដាក់ថ្នាំកូតសមាសធាតុ TiN-Al20 លើក្បាលឧបករណ៍ស៊ីម៉ង់ត៍កាប៊ីត។
2. ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងកាតូតប្រហោង និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូខ្សែក្តៅ
នៅទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1980 ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងកាតូតប្រហោង និងថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូខ្សែក្តៅត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ឧបករណ៍កាត់ដែលមានថ្នាំកូត។ បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងទាំងពីរនេះគឺជាបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងបញ្ចេញធ្នូ ដែលមានអត្រាអ៊ីយ៉ូដលោហៈរហូតដល់ 20% ~ 40%។
៣. ថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូត
ការលេចចេញនូវថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូតបាននាំឱ្យមានការអភិវឌ្ឍបច្ចេកវិទ្យានៃការដាក់ថ្នាំកូតរឹងលើផ្សិត។ អត្រាអ៊ីយ៉ូដនៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូតគឺ 60% ~ 90% ដែលអនុញ្ញាតឱ្យអ៊ីយ៉ុងលោហៈមួយចំនួនធំ និងអ៊ីយ៉ុងឧស្ម័នប្រតិកម្មទៅដល់ផ្ទៃនៃស្នាដៃ ហើយនៅតែរក្សាសកម្មភាពខ្ពស់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការដាក់ថ្នាំកូតរឹងដូចជា TiN។ បច្ចុប្បន្ននេះ បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូតត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីដាក់ថ្នាំកូតរឹងលើផ្សិត។
ប្រភពធ្នូកាតូតគឺជាប្រភពហួតសភាពរឹងដែលគ្មានអាងរលាយថេរ ហើយទីតាំងប្រភពធ្នូអាចត្រូវបានដាក់តាមអំពើចិត្ត ដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវអត្រាប្រើប្រាស់លំហនៃបន្ទប់ថ្នាំកូត និងបង្កើនសមត្ថភាពផ្ទុកឡ។ រូបរាងនៃប្រភពធ្នូកាតូតរួមមានប្រភពធ្នូកាតូតរាងជារង្វង់តូចៗ ប្រភពធ្នូជួរឈរ និងប្រភពធ្នូសំប៉ែតធំរាងចតុកោណកែង។ សមាសធាតុផ្សេងៗគ្នានៃប្រភពធ្នូតូចៗ ប្រភពធ្នូជួរឈរ និងប្រភពធ្នូធំអាចត្រូវបានរៀបចំដោយឡែកពីគ្នាដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តច្រើនស្រទាប់ និងខ្សែភាពយន្តណាណូច្រើនស្រទាប់។ ទន្ទឹមនឹងនេះ ដោយសារតែអត្រាអ៊ីយ៉ូដលោហៈខ្ពស់នៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូត អ៊ីយ៉ុងលោហៈអាចស្រូបយកឧស្ម័នប្រតិកម្មបានច្រើន ដែលបណ្តាលឱ្យមានជួរដំណើរការធំទូលាយ និងប្រតិបត្តិការសាមញ្ញដើម្បីទទួលបានថ្នាំកូតរឹងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ មានដំណក់ទឹករដុបនៅក្នុងមីក្រូស្ត្រូក្រាមនៃស្រទាប់ថ្នាំកូតដែលទទួលបានដោយថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូកាតូត។ ក្នុងប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ បច្ចេកវិទ្យាថ្មីៗជាច្រើនបានលេចចេញឡើងដើម្បីកែលម្អរចនាសម្ព័ន្ធនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត ដែលបានធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុងធ្នូ។
——អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុន Guangdong Zhenhua Technology ដែលជាក្រុមហ៊ុនមួយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតអុបទិក.
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៨ ខែមេសា ឆ្នាំ ២០២៣