1. Technologia termicznego CVD
Twarde powłoki to głównie metalowe powłoki ceramiczne (TiN itp.), które powstają w wyniku reakcji metalu w powłoce i reaktywnego zgazowania.Początkowo technologia termicznego CVD była wykorzystywana do dostarczania energii aktywacji reakcji kombinowanej za pomocą energii cieplnej w wysokiej temperaturze 1000 ℃.Ta temperatura jest odpowiednia tylko do osadzania TiN i innych twardych powłok na narzędziach z węglików spiekanych.Jak dotąd ważną technologią jest nakładanie powłok kompozytowych TiN-Al20 na głowice narzędzi z węglików spiekanych.
2. Powłoka jonowa z wydrążoną katodą i powłoka jonowa z gorącym drutem
W latach 80. do osadzania powlekanych narzędzi skrawających stosowano powlekanie jonowe katodą wnękową i powlekanie jonowe gorącym drutem.Obie te technologie powlekania jonowego są technologiami powlekania jonowego za pomocą wyładowania łukowego, z szybkością jonizacji metalu do 20% ~ 40%.
3. Powłoka jonowa katody
Pojawienie się katodowego powlekania łukiem jonowym doprowadziło do rozwoju technologii nanoszenia twardych powłok na formy.Szybkość jonizacji katodowego powlekania łukiem jonowym wynosi 60% ~ 90%, co pozwala dużej liczbie jonów metali i jonów gazu reakcyjnego dotrzeć do powierzchni przedmiotu obrabianego i nadal utrzymywać wysoką aktywność, co powoduje osadzanie się reakcji i tworzenie twardych powłok, takich jak Cyna.Obecnie technologia katodowego powlekania łukiem jonowym jest stosowana głównie do osadzania twardych powłok na formach.
Źródło łuku katodowego jest źródłem parowania w stanie stałym bez stałego stopionego basenu, a położenie źródła łuku można dowolnie ustawić, poprawiając stopień wykorzystania przestrzeni w pomieszczeniu do powlekania i zwiększając ładowność pieca.Kształty źródeł łuku katodowego obejmują małe okrągłe źródła łuku katodowego, słupowe źródła łuku i prostokątne płaskie duże źródła łuku.Różne komponenty małych źródeł łuku, kolumnowych źródeł łuku i dużych źródeł łuku można rozmieścić oddzielnie w celu osadzania warstw wielowarstwowych i nano warstw wielowarstwowych.Tymczasem, ze względu na wysoką szybkość jonizacji metali w przypadku powlekania jonami łuku katodowego, jony metali mogą absorbować więcej gazów reakcyjnych, co skutkuje szerokim zakresem procesów i prostą obsługą w celu uzyskania doskonałych twardych powłok.Jednak w mikrostrukturze warstwy powłoki otrzymanej przez katodowe powlekanie jonowe występują gruboziarniste kropelki.W ostatnich latach pojawiło się wiele nowych technologii udoskonalania struktury warstwy folii, co poprawiło jakość powłoki powłoki jonowej.
——Ten artykuł został opublikowany przez Guangdong Zhenhua Technology, aproducent maszyn do powlekania optycznego.
Czas postu: 28-04-2023