ጠንካራ ሽፋኖችን ለማስቀመጥ ባህላዊ ቴክኒኮች መግቢያ

1. የሙቀት CVD ቴክኖሎጂ

ጠንካራ ሽፋኖች በአብዛኛው የብረት ሴራሚክ ሽፋኖች (ቲኤን፣ ወዘተ) ሲሆኑ፣ እነዚህም በሽፋኑ ውስጥ ባለው የብረት ምላሽ እና ምላሽ ሰጪ ጋዝፊኬሽን የሚፈጠሩ ናቸው። መጀመሪያ ላይ የሙቀት CVD ቴክኖሎጂ በሙቀት ኃይል የጥምር ምላሽ የማነቃቂያ ኃይልን በ1000 ℃ ከፍተኛ ሙቀት ለማቅረብ ጥቅም ላይ ውሏል። ይህ የሙቀት መጠን TiN እና ሌሎች ጠንካራ ሽፋኖችን በሲሚንቶ ካርቦይድ መሳሪያዎች ላይ ለማስቀመጥ ብቻ ተስማሚ ነው። እስካሁን ድረስ፣ የTiN-Al20 የተዋሃዱ ሽፋኖችን በሲሚንቶ ካርቦይድ መሳሪያዎች ራሶች ላይ ማስቀመጥ አሁንም አስፈላጊ ቴክኖሎጂ ነው።

2. ባዶ የካቶድ አዮን ሽፋን እና ትኩስ የሽቦ አርክ አዮን ሽፋን

በ1980ዎቹ፣ የሆሎው ካቶድ አዮን ሽፋን እና ሆት ዋየር አርክስ አዮን ሽፋን የተሸፈኑ የመቁረጫ መሳሪያዎችን ለማስቀመጥ ያገለግሉ ነበር። እነዚህ ሁለቱም የአዮን ሽፋን ቴክኖሎጂዎች እስከ 20% ~ 40% የሚደርስ የብረት አዮንነት መጠን ያላቸው የአርክስ ፈሳሽ አዮን ሽፋን ቴክኖሎጂዎች ናቸው።

3. የካቶድ አርክ አዮን ሽፋን

የካቶዲክ አርክ አዮን ሽፋን ብቅ ማለት ጠንካራ ሽፋኖችን በሻጋታዎች ላይ የማስቀመጥ ቴክኖሎጂ እንዲዳብር ምክንያት ሆኗል። የካቶዲክ አርክ አዮን ሽፋን የአዮኒዜሽን መጠን ከ60% ~ 90% ሲሆን ይህም ከፍተኛ ቁጥር ያላቸው የብረት አየኖች እና የሪአክሽን ጋዝ አየኖች ወደ workpiece ወለል እንዲደርሱ እና አሁንም ከፍተኛ እንቅስቃሴ እንዲኖራቸው ያስችላል፣ ይህም እንደ TiN ያሉ ጠንካራ ሽፋኖችን ምላሽ እንዲከማች እና እንዲፈጠር ያደርጋል። በአሁኑ ጊዜ የካቶዲክ አርክ አዮን ሽፋን ቴክኖሎጂ በዋናነት ጠንካራ ሽፋኖችን በሻጋታዎች ላይ ለማስቀመጥ ያገለግላል።

የካቶድ ቅስት ምንጭ ቋሚ የቀለጠ ገንዳ የሌለው ጠንካራ-ሁኔታ የትነት ምንጭ ሲሆን የአርክ ምንጭ አቀማመጥ በዘፈቀደ ሊቀመጥ ይችላል፣ ይህም የሽፋን ክፍሉን የቦታ አጠቃቀም መጠን ያሻሽላል እና የእቶኑን የመጫኛ አቅም ይጨምራል። የካቶድ ቅስት ምንጮች ቅርጾች ትናንሽ ክብ ካቶድ ቅስት ምንጮችን፣ የአምድ ቅስት ምንጮችን እና አራት ማዕዘን ቅርጽ ያላቸው ጠፍጣፋ ትልቅ ቅስት ምንጮችን ያካትታሉ። የተለያዩ የትናንሽ ቅስት ምንጮች፣ የአምድ ቅስት ምንጮች እና ትላልቅ ቅስት ምንጮች ባለብዙ-ንብርብር ፊልሞችን እና የናኖ ባለብዙ-ንብርብር ፊልሞችን ለማስቀመጥ ለየብቻ ሊደረደሩ ይችላሉ። ይህ በእንዲህ እንዳለ፣ በካቶዲክ ቅስት አዮን ሽፋን ከፍተኛ የብረት አዮንነት መጠን ምክንያት፣ የብረት አዮኖች ተጨማሪ የምላሽ ጋዞችን ሊወስዱ ይችላሉ፣ ይህም ሰፊ የሂደት ክልል እና እጅግ በጣም ጥሩ ጠንካራ ሽፋኖችን ለማግኘት ቀላል አሰራርን ያስከትላል። ሆኖም፣ በካቶዲክ ቅስት አዮን ሽፋን የተገኘውን የሽፋን ንብርብር ማይክሮ መዋቅር ውስጥ ሻካራ ጠብታዎች አሉ። በቅርብ ዓመታት ውስጥ የፊልም ንብርብርን አወቃቀር ለማሻሻል ብዙ አዳዲስ ቴክኖሎጂዎች ብቅ ብለዋል፣ ይህም የአርክ አዮን ሽፋን ፊልም ጥራትን አሻሽሏል።

——ይህ ጽሑፍ የወጣው በጓንግዶንግ ዠንሁዋ ቴክኖሎጂ ነው።የኦፕቲካል ሽፋን ማሽኖች አምራች.