1. Terminen CVD-tekniikka
Kovat pinnoitteet ovat enimmäkseen metallikeraamisia pinnoitteita (TiN jne.), jotka muodostuvat metallin reaktiosta pinnoitteessa ja reaktiivisessa kaasutuksessa.Aluksi lämpö-CVD-tekniikkaa käytettiin yhdistelmäreaktion aktivointienergian tuottamiseen lämpöenergialla korkeassa 1000 ℃:n lämpötilassa.Tämä lämpötila soveltuu vain TiN:n ja muiden kovien pinnoitteiden levittämiseen kovametallityökaluille.Toistaiseksi on edelleen tärkeä tekniikka levittää TiN-Al20-komposiittipinnoitteita kovametallityökalujen päihin.
2. Ontto katodi-ionipinnoite ja kuumalanka-ionipinnoite
1980-luvulla ontto katodi-ionipinnoite ja kuumalanka-ionipinnoite käytettiin pinnoitettujen leikkaustyökalujen pinnoittamiseen.Molemmat ionipinnoitustekniikat ovat kaaripurkausionipinnoitustekniikoita, joiden metalli-ionisaationopeus on jopa 20–40 %.
3. Katodikaari-ionipinnoite
Katodisen kaari-ionipinnoitteen ilmaantuminen on johtanut teknologian kehittämiseen kovien pinnoitteiden kerrostamiseksi muoteille.Katodisen kaari-ionipinnoitteen ionisaationopeus on 60 % ~ 90 %, mikä mahdollistaa suuren määrän metalli-ioneja ja reaktiokaasu-ioneja päästä työkappaleen pinnalle ja ylläpitää silti korkeaa aktiivisuutta, mikä johtaa reaktioseostumiseen ja kovien pinnoitteiden, kuten esim. Tina.Tällä hetkellä katodikaari-ionipinnoitustekniikkaa käytetään pääasiassa kovien pinnoitteiden kerrostamiseen muoteihin.
Katodikaarilähde on kiinteän olomuodon haihdutuslähde ilman kiinteää sulaa, ja kaarilähteen sijainti voidaan sijoittaa mielivaltaisesti, mikä parantaa päällystyshuoneen tilankäyttöastetta ja lisää uunin latauskapasiteettia.Katodikaarilähteiden muotoja ovat pienet pyöreät katodikaarilähteet, pylväskaarilähteet ja suorakaiteen muotoiset litteät suuret kaarilähteet.Pienen kaarilähteen, pylväskaaren lähteiden ja suurten kaarilähteiden eri komponentit voidaan järjestää erikseen monikerroksisten kalvojen ja nanomonikerroskalvojen kerrostamiseksi.Samaan aikaan katodikaari-ionipinnoitteen korkean metalli-ionisaationopeuden vuoksi metalli-ionit voivat absorboida enemmän reaktiokaasuja, mikä johtaa laajaan prosessialueeseen ja yksinkertaiseen käyttöön erinomaisten kovien pinnoitteiden saamiseksi.Katodikaari-ionipinnoituksella saadun pinnoitekerroksen mikrorakenteessa on kuitenkin karkeita pisaroita.Viime vuosina on ilmaantunut monia uusia tekniikoita kalvokerroksen rakenteen parantamiseksi, mikä on parantanut kaari-ionipinnoituskalvon laatua.
——Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua Technology, aoptisten pinnoituskoneiden valmistaja.
Postitusaika: 28.4.2023