1. Termisk CVD-teknologi
Hårde belægninger er for det meste metalkeramiske belægninger (TiN, etc.), som dannes ved omsætning af metal i belægningen og reaktiv forgasning.Til at begynde med blev den termiske CVD-teknologi brugt til at tilvejebringe aktiveringsenergien for kombinationsreaktion ved hjælp af termisk energi ved en høj temperatur på 1000 ℃.Denne temperatur er kun egnet til afsætning af TiN og andre hårde belægninger på hårdmetalværktøjer.Indtil videre er det stadig en vigtig teknologi at afsætte TiN-Al20 kompositbelægninger på værktøjshoveder af hårdmetal.
2. Hul katode-ion-belægning og varm wire-bue-ion-belægning
I 1980'erne blev hul katode-ion-belægning og hot wire-bue-ion-belægning brugt til at afsætte belagte skæreværktøjer.Begge disse ionbelægningsteknologier er lysbueudladningsionbelægningsteknologier med en metalioniseringshastighed på op til 20%~40%.
3. Katodebue-ion-belægning
Fremkomsten af katodisk lysbue-ion-belægning har ført til udviklingen af teknologien til at afsætte hårde belægninger på forme.Ioniseringshastigheden af katodisk lysbue-ionbelægning er 60%~90%, hvilket tillader et stort antal metalioner og reaktionsgasioner at nå overfladen af emnet og stadig opretholde høj aktivitet, hvilket resulterer i reaktionsaflejring og dannelse af hårde belægninger som f.eks. Tin.På nuværende tidspunkt bruges katodisk lysbue-ion-belægningsteknologi hovedsageligt til at afsætte hårde belægninger på forme.
Katodebuekilden er en faststoffordampningskilde uden en fast smeltet pool, og lysbuekildepositionen kan placeres vilkårligt, hvilket forbedrer belægningsrummets pladsudnyttelse og øger ovnens belastningskapacitet.Formerne af katodebuekilder omfatter små cirkulære katodebuekilder, søjleformede buekilder og rektangulære flade storbuekilder.Forskellige komponenter af små buekilder, søjleformede buekilder og store buekilder kan arrangeres separat for at afsætte flerlagsfilm og nano-flerlagsfilm.I mellemtiden, på grund af den høje metalioniseringshastighed af katodisk lysbueionbelægning, kan metalioner absorbere flere reaktionsgasser, hvilket resulterer i et bredt procesområde og enkel betjening for at opnå fremragende hårde belægninger.Der er dog grove dråber i mikrostrukturen af belægningslaget opnået ved katodisk lysbue-ionbelægning.I de senere år er der dukket mange nye teknologier op for at forfine filmlagets struktur, hvilket har forbedret kvaliteten af lysbue-ionbelægningsfilmen.
——Denne artikel blev udgivet af Guangdong Zhenhua Technology, enproducent af optiske belægningsmaskiner.
Indlægstid: 28-apr-2023