1. Teknologi CVD terma
Salutan keras kebanyakannya merupakan salutan seramik logam (TiN, dsb.), yang dibentuk melalui tindak balas logam dalam salutan dan pengegasan reaktif. Pada mulanya, teknologi CVD terma digunakan untuk menyediakan tenaga pengaktifan tindak balas gabungan melalui tenaga terma pada suhu tinggi 1000 ℃. Suhu ini hanya sesuai untuk memendapkan TiN dan salutan keras lain pada alat karbida simen. Setakat ini, ia masih merupakan teknologi penting untuk memendapkan salutan komposit TiN-Al20 pada kepala alat karbida simen.
2. Salutan ion katod berongga dan salutan ion arka dawai panas
Pada tahun 1980-an, salutan ion katod berongga dan salutan ion arka dawai panas telah digunakan untuk memendapkan alat pemotong bersalut. Kedua-dua teknologi salutan ion ini merupakan teknologi salutan ion nyahcas arka, dengan kadar pengionan logam sehingga 20%~40%.
3. Salutan ion arka katod
Kemunculan salutan ion arka katodik telah membawa kepada perkembangan teknologi pengendapan salutan keras pada acuan. Kadar pengionan salutan ion arka katodik adalah 60%~90%, membolehkan sebilangan besar ion logam dan ion gas tindak balas mencapai permukaan bahan kerja dan masih mengekalkan aktiviti yang tinggi, mengakibatkan pengendapan tindak balas dan pembentukan salutan keras seperti TiN. Pada masa ini, teknologi salutan ion arka katodik digunakan terutamanya untuk pengendapan salutan keras pada acuan.
Sumber arka katod ialah sumber penyejatan keadaan pepejal tanpa kolam lebur yang tetap, dan kedudukan sumber arka boleh diletakkan secara sewenang-wenangnya, meningkatkan kadar penggunaan ruang bilik salutan dan meningkatkan kapasiti pemuatan relau. Bentuk sumber arka katod termasuk sumber arka katod bulat kecil, sumber arka kolumnar, dan sumber arka besar rata segi empat tepat. Komponen berbeza sumber arka kecil, sumber arka kolumnar, dan sumber arka besar boleh disusun secara berasingan untuk memendapkan filem berbilang lapisan dan filem berbilang lapisan nano. Sementara itu, disebabkan oleh kadar pengionan logam yang tinggi bagi salutan ion arka katodik, ion logam boleh menyerap lebih banyak gas tindak balas, menghasilkan julat proses yang luas dan operasi mudah untuk mendapatkan salutan keras yang sangat baik. Walau bagaimanapun, terdapat titisan kasar dalam mikrostruktur lapisan salutan yang diperolehi oleh salutan ion arka katodik. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, banyak teknologi baharu telah muncul untuk memperhalusi struktur lapisan filem, yang telah meningkatkan kualiti filem salutan ion arka.
——Artikel ini dikeluarkan oleh Guangdong Zhenhua Technology, sebuahpengeluar mesin salutan optik.
Masa siaran: 28-Apr-2023