1. Gbona CVD ọna ẹrọ
Awọn ideri lile jẹ okeene awọn ohun elo seramiki irin (TiN, ati bẹbẹ lọ), eyiti a ṣẹda nipasẹ iṣesi ti irin ninu ibora ati gasification ifaseyin.Ni akọkọ, imọ-ẹrọ CVD gbona ni a lo lati pese agbara imuṣiṣẹ ti iṣesi apapọ nipasẹ agbara igbona ni iwọn otutu giga ti 1000 ℃.Iwọn otutu yii dara nikan fun fifipamọ TiN ati awọn ideri lile miiran lori awọn irinṣẹ carbide simenti.Titi di isisiyi, o tun jẹ imọ-ẹrọ pataki lati ṣafipamọ awọn ohun elo idapọpọ TiN-Al20 lori awọn ori irinṣẹ carbide ti simenti.
2. Hollow cathode ion bo ati ki o gbona waya arc ion bo
Ni awọn ọdun 1980, ibora ion cathode ṣofo ati ideri ion arc ion ti o gbona ni a lo lati fi awọn irinṣẹ gige ti a bo silẹ.Mejeji ti awọn imọ-ẹrọ ti a bo ion wọnyi jẹ awọn imọ-ẹrọ ifasilẹ ion arc, pẹlu iwọn ionization irin ti o to 20% ~ 40%.
3. Cathode arc ion ti a bo
Awọn ifarahan ti awọ-ara ti cathodic arc ion ti yori si idagbasoke ti imọ-ẹrọ ti fifipamọ awọn ohun elo lile lori awọn apẹrẹ.Oṣuwọn ionization ti abọ ion cathodic arc ion jẹ 60% ~ 90%, gbigba nọmba nla ti awọn ions irin ati awọn ions gaasi ifaseyin lati de aaye ti iṣẹ-ṣiṣe ati tun ṣetọju iṣẹ ṣiṣe giga, ti o mu abajade ifasẹyin ati dida awọn abọ lile gẹgẹbi TiN.Ni lọwọlọwọ, imọ-ẹrọ ti a bo cathodic arc ion jẹ lilo ni akọkọ lati fi awọn aṣọ wiwu lile sori awọn mimu.
Orisun arc cathode jẹ orisun evaporation ti ipinlẹ ti o lagbara laisi adagun didà ti o wa titi, ati pe ipo orisun arc le wa ni gbe lainidii, imudarasi iwọn lilo aaye ti yara ti a bo ati jijẹ agbara ikojọpọ ileru.Awọn apẹrẹ ti awọn orisun arc cathode pẹlu awọn orisun cathode arc ipin kekere, awọn orisun arc columnar, ati awọn orisun arc nla alapin onigun mẹrin.Awọn paati oriṣiriṣi ti awọn orisun arc kekere, awọn orisun arc columnar, ati awọn orisun arc nla le ṣee ṣeto lọtọ lati fi awọn fiimu pupọ-Layer ati awọn fiimu multilayer nano silẹ.Nibayi, nitori iwọn iwọn ionization ti irin giga ti epo ion cathodic arc ion, awọn ions irin le fa awọn gaasi ifasẹyin diẹ sii, ti o mu abajade ilana jakejado ati iṣẹ ti o rọrun lati gba awọn aṣọ wiwu lile to dara julọ.Sibẹsibẹ, awọn droplets isokuso wa ninu microstructure ti Layer ti a bo ti a gba nipasẹ ibora arc ion cathodic.Ni awọn ọdun aipẹ, ọpọlọpọ awọn imọ-ẹrọ tuntun ti farahan lati ṣatunṣe ilana ti Layer fiimu, eyiti o ti mu didara ti fiimu ti a bo arc ion dara si.
——Nkan yii jẹ idasilẹ nipasẹ imọ-ẹrọ Guangdong Zhenhua, aolupese ti opitika ti a bo ero.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 28-2023