1. Termal CVD teknolojisi
Sert kaplamalar çoğunlukla metal seramik kaplamalardır (TiN, vb.) ve kaplamadaki metalin reaktif gazlaştırma reaksiyonuyla oluşurlar. Başlangıçta, termal CVD teknolojisi, 1000 ℃ gibi yüksek bir sıcaklıkta termal enerji ile birleşme reaksiyonunun aktivasyon enerjisini sağlamak için kullanılmıştır. Bu sıcaklık, yalnızca sertleştirilmiş karbür takımlar üzerine TiN ve diğer sert kaplamaların biriktirilmesi için uygundur. Günümüzde, sertleştirilmiş karbür takım başlıklarına TiN-Al20 kompozit kaplamaların biriktirilmesi hala önemli bir teknolojidir.
2. İçi boş katot iyon kaplama ve sıcak tel ark iyon kaplama
1980'lerde, kesici takımların kaplanmasında içi boş katot iyon kaplama ve sıcak tel ark iyon kaplama yöntemleri kullanıldı. Bu iyon kaplama teknolojilerinin her ikisi de ark deşarjlı iyon kaplama teknolojileridir ve metal iyonlaşma oranı %20 ila %40 arasındadır.
3. Katot ark iyon kaplaması
Katodik ark iyon kaplama teknolojisinin ortaya çıkışı, kalıplar üzerine sert kaplamaların biriktirilmesi teknolojisinin gelişmesine yol açmıştır. Katodik ark iyon kaplamanın iyonlaşma oranı %60~%90 olup, çok sayıda metal iyonunun ve reaksiyon gazı iyonunun iş parçasının yüzeyine ulaşmasına ve yüksek aktiviteyi korumasına olanak tanıyarak, TiN gibi sert kaplamaların reaksiyonla biriktirilmesini ve oluşmasını sağlar. Şu anda, katodik ark iyon kaplama teknolojisi esas olarak kalıplar üzerine sert kaplamaların biriktirilmesinde kullanılmaktadır.
Katot ark kaynağı, sabit bir erimiş havuzu olmayan katı hal buharlaştırma kaynağıdır ve ark kaynağının konumu keyfi olarak yerleştirilebilir, bu da kaplama odasının alan kullanım oranını iyileştirir ve fırın yükleme kapasitesini artırır. Katot ark kaynaklarının şekilleri arasında küçük dairesel katot ark kaynakları, sütunlu ark kaynakları ve dikdörtgen düz büyük ark kaynakları bulunur. Küçük ark kaynaklarının, sütunlu ark kaynaklarının ve büyük ark kaynaklarının farklı bileşenleri, çok katmanlı filmler ve nano çok katmanlı filmler biriktirmek için ayrı ayrı düzenlenebilir. Bu arada, katot ark iyon kaplamasının yüksek metal iyonlaşma oranı nedeniyle, metal iyonları daha fazla reaksiyon gazı emebilir, bu da geniş bir işlem aralığı ve mükemmel sert kaplamalar elde etmek için basit bir işlem sağlar. Bununla birlikte, katot ark iyon kaplamasıyla elde edilen kaplama tabakasının mikro yapısında iri damlacıklar bulunur. Son yıllarda, film tabakasının yapısını iyileştirmek için birçok yeni teknoloji ortaya çıkmış ve bu da ark iyon kaplama filminin kalitesini artırmıştır.
—Bu makale Guangdong Zhenhua Teknoloji tarafından yayınlanmıştır.optik kaplama makineleri üreticisi.
Yayın tarihi: 28 Nisan 2023