1. Термиялық CVD технологиясы
Қатты жабындар негізінен металл керамикалық жабындардан (TiN және т.б.) тұрады, олар жабындағы металдың реакциясы және реактивті газдандыру арқылы түзіледі. Бастапқыда термиялық CVD технологиясы 1000 ℃ жоғары температурада жылу энергиясымен аралас реакцияның белсендіру энергиясын қамтамасыз ету үшін қолданылды. Бұл температура тек цементтелген карбидті құралдарға TiN және басқа да қатты жабындарды жағуға жарамды. Әзірге TiN-Al20 композиттік жабындарын цементтелген карбидті құралдардың бастарына жағу маңызды технология болып табылады.
2. Қуыс катодты иондық жабын және ыстық сым доғалы иондық жабын
1980 жылдары кескіш құралдарды жабу үшін қуыс катодты иондық жабын және ыстық сым доғалы иондық жабын қолданылды. Бұл иондық жабын технологияларының екеуі де доғалы разрядты иондық жабын технологиялары болып табылады, металл иондану жылдамдығы 20% ~ 40% дейін жетеді.
3. Катодты доғалы иондық жабын
Катодтық доғалық иондық жабынның пайда болуы қалыптарға қатты жабындарды жағу технологиясының дамуына әкелді. Катодтық доғалық иондық жабынның иондану жылдамдығы 60% ~ 90% құрайды, бұл көптеген металл иондары мен реакциялық газ иондарының дайындаманың бетіне жетуіне және жоғары белсенділікті сақтауына мүмкіндік береді, нәтижесінде реакциялық шөгінділер пайда болады және TiN сияқты қатты жабындардың пайда болуына әкеледі. Қазіргі уақытта катодтық доғалық иондық жабын технологиясы негізінен қалыптарға қатты жабындарды жағу үшін қолданылады.
Катодты доға көзі - бекітілген балқытылған бассейні жоқ қатты күйдегі булану көзі, ал доға көзінің орналасуын кез келген уақытта орналастыруға болады, бұл жабын бөлмесінің кеңістікті пайдалану жылдамдығын жақсартады және пештің жүктеме сыйымдылығын арттырады. Катодты доға көздерінің пішіндеріне кішкентай дөңгелек катодты доға көздері, бағаналы доға көздері және тікбұрышты жалпақ үлкен доға көздері жатады. Кіші доға көздерінің, бағаналы доға көздерінің және үлкен доға көздерінің әртүрлі компоненттерін көп қабатты пленкалар мен нано көп қабатты пленкаларды тұндыру үшін бөлек орналастыруға болады. Сонымен қатар, катодты доғалы иондық жабынның жоғары металл иондану жылдамдығына байланысты металл иондары көбірек реакция газдарын сіңіре алады, бұл тамаша қатты жабындар алу үшін кең процесс ауқымы мен қарапайым операцияны қамтамасыз етеді. Дегенмен, катодты доғалы иондық жабынмен алынған жабын қабатының микроқұрылымында ірі тамшылар бар. Соңғы жылдары пленка қабатының құрылымын жетілдіру үшін көптеген жаңа технологиялар пайда болды, бұл доғалы иондық жабын пленкасының сапасын жақсартты.
——Бұл мақаланы Guangdong Zhenhua Technology компаниясы жарияладыоптикалық жабын машиналарын өндіруші.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 28 сәуір