1. Công nghệ CVD nhiệt
Các lớp phủ cứng chủ yếu là các lớp phủ gốm kim loại (TiN, v.v.), được hình thành bởi phản ứng giữa kim loại trong lớp phủ và quá trình khí hóa phản ứng. Ban đầu, công nghệ CVD nhiệt được sử dụng để cung cấp năng lượng hoạt hóa cho phản ứng kết hợp bằng năng lượng nhiệt ở nhiệt độ cao 1000 ℃. Nhiệt độ này chỉ thích hợp để lắng đọng TiN và các lớp phủ cứng khác trên dụng cụ hợp kim cứng. Cho đến nay, việc lắng đọng lớp phủ composite TiN-Al20 trên đầu dụng cụ hợp kim cứng vẫn là một công nghệ quan trọng.
2. Lớp phủ ion catốt rỗng và lớp phủ ion hồ quang dây nóng
Vào những năm 1980, công nghệ phủ ion catốt rỗng và phủ ion hồ quang dây nóng được sử dụng để phủ các dụng cụ cắt. Cả hai công nghệ phủ ion này đều là công nghệ phủ ion phóng điện hồ quang, với tỷ lệ ion hóa kim loại lên đến 20%~40%.
3. Lớp phủ ion hồ quang catốt
Sự xuất hiện của công nghệ phủ ion hồ quang catốt đã dẫn đến sự phát triển của công nghệ phủ lớp cứng lên khuôn mẫu. Tỷ lệ ion hóa của công nghệ phủ ion hồ quang catốt đạt từ 60% đến 90%, cho phép một lượng lớn ion kim loại và ion khí phản ứng tiếp cận bề mặt phôi và vẫn duy trì hoạt tính cao, dẫn đến phản ứng lắng đọng và hình thành các lớp phủ cứng như TiN. Hiện nay, công nghệ phủ ion hồ quang catốt chủ yếu được sử dụng để phủ lớp cứng lên khuôn mẫu.
Nguồn hồ quang catốt là nguồn bay hơi trạng thái rắn không có bể nóng chảy cố định, và vị trí nguồn hồ quang có thể được đặt tùy ý, giúp cải thiện tỷ lệ sử dụng không gian của phòng phủ và tăng khả năng tải của lò. Hình dạng của nguồn hồ quang catốt bao gồm nguồn hồ quang catốt tròn nhỏ, nguồn hồ quang hình cột và nguồn hồ quang phẳng hình chữ nhật lớn. Các thành phần khác nhau của nguồn hồ quang nhỏ, nguồn hồ quang hình cột và nguồn hồ quang lớn có thể được sắp xếp riêng biệt để lắng đọng màng nhiều lớp và màng nano nhiều lớp. Đồng thời, do tỷ lệ ion hóa kim loại cao của quá trình phủ ion hồ quang catốt, các ion kim loại có thể hấp thụ nhiều khí phản ứng hơn, dẫn đến phạm vi xử lý rộng và thao tác đơn giản để thu được lớp phủ cứng tuyệt vời. Tuy nhiên, vẫn còn các giọt lớn trong cấu trúc vi mô của lớp phủ thu được bằng phương pháp phủ ion hồ quang catốt. Trong những năm gần đây, nhiều công nghệ mới đã xuất hiện để tinh chỉnh cấu trúc của lớp màng, giúp cải thiện chất lượng của màng phủ ion hồ quang.
Bài viết này được phát hành bởi Công ty Công nghệ Zhenhua Quảng Đông, mộtnhà sản xuất máy phủ quang học.
Thời gian đăng bài: 28/04/2023