1. Teknologji termike CVD
Veshjet e forta janë kryesisht veshje qeramike metalike (TiN, etj.), të cilat formohen nga reaksioni i metalit në veshje dhe gazifikimi reaktiv.Në fillim, teknologjia termike CVD u përdor për të siguruar energjinë e aktivizimit të reaksionit të kombinimit nga energjia termike në një temperaturë të lartë prej 1000 ℃.Kjo temperaturë është e përshtatshme vetëm për depozitimin e kallajit dhe veshjeve të tjera të forta në veglat e karabit të çimentuar.Deri më tani, është ende një teknologji e rëndësishme depozitimi i veshjeve të përbëra TiN-Al20 në kokat e veglave me karabit të çimentuar.
2. Veshje jonike katodë e zbrazët dhe veshje me jon të harkut të nxehtë
Në vitet 1980, veshja e joneve katodë të zbrazët dhe veshja e joneve të harkut të telit të nxehtë u përdorën për depozitimin e veglave prerëse të veshura.Të dyja këto teknologji të veshjes së joneve janë teknologji të veshjes së joneve të shkarkimit të harkut, me një shkallë jonizimi metalik deri në 20% ~ 40%.
3. Veshje me jon të harkut katodik
Shfaqja e veshjes së joneve të harkut katodik ka çuar në zhvillimin e teknologjisë së depozitimit të veshjeve të forta në kallëpe.Shkalla e jonizimit të veshjes së joneve të harkut katodik është 60% ~ 90%, duke lejuar që një numër i madh i joneve metalike dhe joneve të gazit të reaksionit të arrijnë sipërfaqen e pjesës së punës dhe të ruajnë ende aktivitet të lartë, duke rezultuar në depozitimin e reagimit dhe formimin e veshjeve të forta si p.sh. TiN.Aktualisht, teknologjia e veshjes së joneve me hark katodik përdoret kryesisht për të depozituar veshje të forta në kallëpe.
Burimi i harkut të katodës është një burim avullimi në gjendje të ngurtë pa një pishinë fikse të shkrirë dhe pozicioni i burimit të harkut mund të vendoset në mënyrë arbitrare, duke përmirësuar shkallën e përdorimit të hapësirës së dhomës së veshjes dhe duke rritur kapacitetin e ngarkimit të furrës.Format e burimeve të harkut katodik përfshijnë burime të vogla të harkut katodik rrethor, burime harku kolone dhe burime të mëdha të harkut të sheshtë drejtkëndëshe.Komponentët e ndryshëm të burimeve me hark të vegjël, burimet me hark kolonë dhe burimet e harkut të mëdhenj mund të rregullohen veçmas për të depozituar filma me shumë shtresa dhe filma nano me shumë shtresa.Ndërkohë, për shkak të shkallës së lartë të jonizimit të metalit të veshjes së joneve të harkut katodik, jonet metalike mund të thithin më shumë gazra të reagimit, duke rezultuar në një gamë të gjerë procesi dhe funksionim të thjeshtë për të marrë veshje të shkëlqyera të forta.Megjithatë, ka pika të trashë në mikrostrukturën e shtresës së veshjes të marra nga veshja e joneve të harkut katodik.Vitet e fundit, shumë teknologji të reja janë shfaqur për të përmirësuar strukturën e shtresës së filmit, gjë që ka përmirësuar cilësinë e filmit të veshjes së joneve të harkut.
——Ky artikull u publikua nga Guangdong Zhenhua Technology, aprodhues i makinerive të veshjes optike.
Koha e postimit: 28 Prill 2023