1. Technologie CVD thermique
Les revêtements durs sont principalement des revêtements métallo-céramiques (TiN, etc.), formés par la réaction entre le métal du revêtement et une gazéification réactive. Initialement, la technologie CVD thermique était utilisée pour fournir l'énergie d'activation de la réaction de combinaison par l'énergie thermique à une température élevée de 1000 °C. Cette température est uniquement adaptée au dépôt de TiN et d'autres revêtements durs sur les outils en carbure cémenté. À ce jour, le dépôt de revêtements composites TiN-Al20 sur les têtes d'outils en carbure cémenté reste une technologie importante.
2. Revêtement ionique à cathode creuse et revêtement ionique à arc à fil chaud
Dans les années 1980, le revêtement ionique par cathode creuse et le revêtement ionique par arc à fil chaud étaient utilisés pour le dépôt de revêtements sur les outils de coupe. Ces deux technologies de revêtement ionique reposent sur la décharge d'arc et présentent un taux d'ionisation du métal pouvant atteindre 20 à 40 %.
3. Revêtement ionique par arc cathodique
L'émergence du revêtement ionique par arc cathodique a permis le développement de la technologie de dépôt de revêtements durs sur les moules. Le taux d'ionisation de ce procédé, de 60 % à 90 %, permet à un grand nombre d'ions métalliques et d'ions du gaz de réaction d'atteindre la surface de la pièce tout en conservant une activité élevée, ce qui induit un dépôt par réaction et la formation de revêtements durs tels que le TiN. Actuellement, la technologie de revêtement ionique par arc cathodique est principalement utilisée pour le dépôt de revêtements durs sur les moules.
La source d'arc cathodique est une source d'évaporation à l'état solide sans bain de fusion fixe. Sa position peut être choisie librement, optimisant ainsi l'espace de la salle de revêtement et augmentant la capacité de chargement du four. Les sources d'arc cathodique se déclinent en plusieurs formes : petites sources circulaires, sources colonnaires et grandes sources rectangulaires plates. Les différents composants de ces sources peuvent être agencés séparément pour le dépôt de films multicouches et de nanofilms multicouches. Par ailleurs, grâce au taux d'ionisation élevé des métaux lors du revêtement ionique par arc cathodique, les ions métalliques absorbent davantage de gaz de réaction, ce qui permet une large gamme de procédés et une mise en œuvre simplifiée pour obtenir d'excellents revêtements durs. Cependant, la microstructure du revêtement obtenu par ce procédé présente des gouttelettes grossières. Ces dernières années, de nombreuses technologies innovantes ont émergé pour affiner la structure du film, améliorant ainsi sa qualité.
Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua Technology, une entreprise de technologie de pointe.fabricant de machines de revêtement optique.
Date de publication : 28 avril 2023