1. Termal CVD texnologiyası
Sərt örtüklər əsasən metalın örtükdəki reaksiyası və reaktiv qazlaşma yolu ilə əmələ gələn metal keramika örtükləridir (TiN və s.). Əvvəlcə istilik CVD texnologiyası 1000 ℃ yüksək temperaturda istilik enerjisi ilə birləşmə reaksiyasının aktivləşmə enerjisini təmin etmək üçün istifadə edilmişdir. Bu temperatur yalnız sementləşdirilmiş karbid alətlərinə TiN və digər sərt örtüklərin çəkilməsi üçün uyğundur. İndiyə qədər TiN-Al20 kompozit örtüklərinin sementləşdirilmiş karbid alət başlıqlarına çəkilməsi hələ də vacib bir texnologiyadır.
2. Boş katod ion örtüyü və isti məftil qövs ion örtüyü
1980-ci illərdə örtüklü kəsici alətləri çökdürmək üçün içiboş katod ion örtüyü və isti məftil qövs ion örtüyü istifadə olunurdu. Bu ion örtük texnologiyalarının hər ikisi qövs boşalması ion örtük texnologiyalarıdır və metal ionlaşma dərəcəsi 20% ~ 40% -ə qədərdir.
3. Katod qövs ion örtüyü
Katod qövs ion örtüyünün meydana çıxması qəliblərə sərt örtüklərin çökdürülməsi texnologiyasının inkişafına səbəb olmuşdur. Katod qövs ion örtüyünün ionlaşma sürəti 60% ~ 90% təşkil edir ki, bu da çox sayda metal ionunun və reaksiya qazı ionlarının iş parçasının səthinə çatmasına və yüksək aktivliyi saxlamasına imkan verir ki, bu da reaksiya çöküntüsünə və TiN kimi sərt örtüklərin əmələ gəlməsinə səbəb olur. Hazırda katod qövs ion örtük texnologiyası əsasən qəliblərə sərt örtüklərin çökdürülməsi üçün istifadə olunur.
Katod qövs mənbəyi sabit əridilmiş hovuzu olmayan bərk hallı buxarlanma mənbəyidir və qövs mənbəyinin mövqeyi ixtiyari olaraq yerləşdirilə bilər, bu da örtük otağının məkan istifadə nisbətini yaxşılaşdırır və sobanın yükləmə qabiliyyətini artırır. Katod qövs mənbələrinin formalarına kiçik dairəvi katod qövs mənbələri, sütunlu qövs mənbələri və düzbucaqlı düz böyük qövs mənbələri daxildir. Kiçik qövs mənbələrinin, sütunlu qövs mənbələrinin və böyük qövs mənbələrinin müxtəlif komponentləri çoxqatlı filmlər və nano çoxqatlı filmlər yerləşdirmək üçün ayrıca düzülə bilər. Bu arada, katod qövs ion örtüyünün yüksək metal ionlaşma nisbəti səbəbindən metal ionları daha çox reaksiya qazlarını uda bilər və bu da əla sərt örtüklər əldə etmək üçün geniş proses diapazonuna və sadə əməliyyata səbəb olur. Bununla belə, katod qövs ion örtüyü ilə əldə edilən örtük təbəqəsinin mikrostrukturunda qaba damcılar var. Son illərdə film təbəqəsinin strukturunu təkmilləşdirmək üçün bir çox yeni texnologiyalar ortaya çıxmışdır ki, bu da qövs ion örtük təbəqəsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmışdır.
——Bu məqalə Guangdong Zhenhua Technology tərəfindən dərc ediliboptik örtük maşınları istehsalçısı.
Yazı vaxtı: 28 aprel 2023