1. Teknologi CVD termal
Pelapis keras sebagian besar adalah pelapis keramik logam (TiN, dll.), Yang dibentuk oleh reaksi logam dalam pelapisan dan gasifikasi reaktif.Pada awalnya, teknologi CVD termal digunakan untuk memberikan energi aktivasi reaksi kombinasi dengan energi panas pada suhu tinggi 1000 ℃.Suhu ini hanya cocok untuk mendepositkan TiN dan pelapis keras lainnya pada alat karbida yang disemen.Sejauh ini, masih merupakan teknologi penting untuk mendepositkan lapisan komposit TiN-Al20 pada kepala alat karbida yang disemen.
2. Lapisan ion katoda berongga dan lapisan ion busur kawat panas
Pada 1980-an, lapisan ion katoda berongga dan lapisan ion busur kawat panas digunakan untuk menyimpan alat pemotong berlapis.Kedua teknologi pelapisan ion ini adalah teknologi pelapisan ion pelepasan busur, dengan laju ionisasi logam hingga 20%~40%.
3. Lapisan ion busur katoda
Munculnya lapisan ion busur katodik telah menyebabkan perkembangan teknologi pengendapan lapisan keras pada cetakan.Laju ionisasi lapisan ion busur katodik adalah 60% ~ 90%, memungkinkan sejumlah besar ion logam dan ion gas reaksi mencapai permukaan benda kerja dan tetap mempertahankan aktivitas tinggi, menghasilkan pengendapan reaksi dan pembentukan lapisan keras seperti Timah.Saat ini, teknologi pelapisan ion busur katodik terutama digunakan untuk menyimpan pelapis keras pada cetakan.
Sumber busur katoda adalah sumber penguapan keadaan padat tanpa kolam cair tetap, dan posisi sumber busur dapat ditempatkan secara sewenang-wenang, meningkatkan tingkat pemanfaatan ruang ruang pelapis dan meningkatkan kapasitas pemuatan tungku.Bentuk sumber busur katoda meliputi sumber busur katoda lingkaran kecil, sumber busur kolom, dan sumber busur datar persegi panjang besar.Komponen yang berbeda dari sumber busur kecil, sumber busur kolom, dan sumber busur besar dapat diatur secara terpisah untuk menyimpan film multilapisan dan film multilapisan nano.Sementara itu, karena laju ionisasi logam yang tinggi dari pelapisan ion busur katodik, ion logam dapat menyerap lebih banyak gas reaksi, menghasilkan rentang proses yang luas dan pengoperasian yang sederhana untuk mendapatkan lapisan keras yang sangat baik.Namun, ada tetesan kasar dalam struktur mikro lapisan pelapis yang diperoleh dengan pelapisan ion busur katodik.Dalam beberapa tahun terakhir, banyak teknologi baru telah muncul untuk menyempurnakan struktur lapisan film, yang telah meningkatkan kualitas film lapisan ion busur.
——Artikel ini dirilis oleh Guangdong Zhenhua Technology, aprodusen mesin pelapis optik.
Waktu posting: Apr-28-2023