หลักการทางเทคนิคของอุปกรณ์เคลือบแข็งแคโทดกลวงคืออะไร

การเคลือบไอออนหมายถึงสารตั้งต้นหรือวัสดุที่ระเหยจะถูกสะสมไว้บนพื้นผิวโดยการโจมตีด้วยไอออนของไอออนก๊าซหรือวัสดุที่ระเหยในขณะที่วัสดุที่ระเหยจะถูกแยกตัวหรือปล่อยก๊าซในห้องสูญญากาศ หลักการทางเทคนิคของอุปกรณ์เคลือบแข็งแคโทดกลวงคือการเคลือบไอออนแคโทดกลวง ซึ่งเป็นเทคโนโลยีการสะสมแบบปล่อยแคโทดกลวง

เกี่ยวกับหลักการของการปลดปล่อยแคโทดแบบกลวง: เทคนิคของการปลดปล่อยแคโทดแบบกลวงใช้การปลดปล่อยแคโทดแบบร้อนเพื่อสร้างลำแสงพลาสม่า และแคโทดเป็นท่อแทนทาลัมแบบกลวง แคโทดและแอโนดเสริมอยู่ใกล้กัน ซึ่งเป็นขั้วสองขั้วที่จุดประกายการปลดปล่อยอาร์ก

ปืนยิงประจุแคโทดกลวงสามารถจุดระเบิดได้ 2 วิธี
1. การใช้สนามไฟฟ้าความถี่สูงที่นำไปใช้กับหลอดแทนทาลัมแคโทด เพื่อให้หลอดแทนทาลัมแคโทดแตกตัวเป็นไอออนของแก๊สอาร์กอน แล้วจึงถูกกระตุ้นโดยหลอดแทนทาลัมแคโทดที่ถูกโจมตีอย่างต่อเนื่องโดยไอออนของอาร์กอน จนกระทั่งความร้อนอุ่นขึ้นถึงอุณหภูมิต่ำสุดตามมาตรฐานการปล่อยอิเล็กตรอน และสร้างลำแสงอิเล็กตรอนพลาสมา

2. ในหลอดแทนทาลัมขั้วบวกและขั้วลบเสริมระหว่างการใช้แรงดันไฟฟ้า DC ประมาณ 300V หลอดแทนทาลัมขั้วลบยังคงผ่านเข้าไปในก๊าซอาร์กอน ในความดันก๊าซอาร์กอน 1Pa-10Pa ปรากฏการณ์การคายประจุเรืองแสงของหลอดแทนทาลัมขั้วบวกและขั้วลบเสริม การสร้างการโจมตีของไอออนอาร์กอนโจมตีหลอดแทนทาลัมขั้วลบอย่างต่อเนื่อง จนถึงอุณหภูมิ 2300K-2400K หลอดแทนทาลัมขั้วลบจะปล่อยอิเล็กตรอนจำนวนมาก จะเปลี่ยนจาก "การคายประจุเรืองแสง" เป็น "การคายประจุอาร์ก" ครั้งนี้ แรงดันไฟฟ้าจะต่ำถึง 30V-60V จากนั้น ตราบใดที่แคโทดและขั้วบวกอยู่ระหว่างแหล่งจ่ายไฟ คุณก็สามารถสร้างลำแสงอิเล็กตรอนพลาสมาได้

อุปกรณ์เคลือบแคโทดิก
1、ปรับปรุงโครงสร้างปืนเดิม จากกระแสไฟสูงสุดเดิม 230A เป็น 280A
2、ปรับปรุงโครงสร้างระบบทำความเย็นแบบเดิม จากการทำความเย็นเครื่องทำน้ำแข็ง 4℃ เดิมเป็นการทำความเย็นด้วยน้ำที่อุณหภูมิห้อง ช่วยประหยัดค่าไฟฟ้าให้กับผู้ใช้งาน
3. ปรับปรุงโครงสร้างการส่งผ่านทางกลแบบเดิม เปลี่ยนเป็นโครงสร้างการส่งผ่านของเหลวแบบแม่เหล็ก ซึ่งอุณหภูมิสูงจะไม่ทำให้เฟรมหมุนติดขัด
4 พื้นที่การเคลือบที่มีประสิทธิภาพ ￠ 650X1100 สามารถรองรับผู้ผลิตแม่พิมพ์และเกียร์ขนาดใหญ่พิเศษ 750 X 1250X600 ที่มีการเจาะแบบยาวเป็นพิเศษ ซึ่งมีปริมาตรที่มาก

เครื่องเคลือบไอออนแคโทดกลวงส่วนใหญ่ใช้ในการชุบเครื่องมือ แม่พิมพ์ แม่พิมพ์กระจกขนาดใหญ่ แม่พิมพ์พลาสติก มีดกลึง และผลิตภัณฑ์อื่นๆ