Ҷойгиршавии буғи кимиёвӣ (CVD). Тавре ки аз ном бармеояд, ин як техникаест, ки реактивҳои пешгузаштаи газро барои тавлиди филмҳои сахт тавассути реаксияҳои кимиёвии атомӣ ва байнимолекулавӣ истифода мебарад. Баръакси PVD, раванди CVD асосан дар муҳити фишори баландтар (вакууми паст) анҷом дода мешавад ва фишори баландтар асосан барои баланд бардоштани суръати таҳшиншавии филм истифода мешавад. Ҷойгиршавии буғи кимиёвиро вобаста ба он, ки плазма дар раванди таҳшинкунӣ иштирок мекунад ё не, метавонад ба CVD-и умумӣ (инчунин бо номи CVD гармӣ маълум) ва таҳшиншавии буғи кимиёвии бо плазма такмилёфта (Plasma-Enhanced Semical Papor Deposition. PECVD) гурӯҳбандӣ карда шавад. Ин бахш ба технологияи PECVD, аз ҷумла раванди PECVD ва таҷҳизоти маъмулан истифодашавандаи PECVD ва принсипи кор тамаркуз мекунад.
Ҷойгиркунии буғи кимиёвии бо плазма мукаммалшуда як усули таҳшинсозии буғи кимиёвии тунук аст, ки плазмаи разряди дурахшонро барои таъсир расонидан ба раванди таҳшиншавӣ ҳангоми ҷараён додани раванди таҳшиншавии буғи кимиёвии фишори паст истифода мебарад. Ба ин маъно, технологияи анъанавии CVD ба ҳарорати баландтари субстрат такя мекунад, то реаксияи кимиёвии байни моддаҳои фазаи газ ва таҳшиншавии филмҳои тунукро амалӣ кунад ва аз ин рӯ метавон онро технологияи гармидиҳии CVD номид.
Дар дастгоҳи PECVD, фишори гази корӣ тақрибан 5 ~ 500 Па аст ва зичии электронҳо ва ионҳо метавонад ба 109 ~ 1012 / см3, дар ҳоле ки энергияи миёнаи электронҳо ба 1 ~ 10 эВ мерасад. Он чизе, ки усули PECVD аз усулҳои дигари CVD фарқ мекунад, дар он аст, ки плазма миқдори зиёди электронҳои энергияи баланд дорад, ки метавонанд энергияи фаъолкуниро барои раванди таҳшиншавии буғи химиявӣ таъмин кунанд. Бархӯрди электронҳо ва молекулаҳои фазавии газ метавонад ба таҷзия, кимосинтез, барангезиш ва ионизатсияи молекулаҳои газ мусоидат намуда, гурӯҳҳои химиявии хеле реактивиро ба вуҷуд оварад ва ба ин васила диапазони ҳарорати ҷавидани филми тунуки CVD-ро ба таври назаррас коҳиш диҳад ва имкон медиҳад, ки раванди CVD, ки дар ибтидо бояд дар ҳарорати баланд гузаронида шавад. Бартарии таҳшиншавии филми тунук дар ҳарорати паст дар он аст, ки он метавонад аз паҳншавии нолозим ва реаксияи кимиёвӣ байни филм ва субстрат, тағироти сохторӣ ва бад шудани филм ё маводи субстрат ва фишорҳои калони гармӣ дар филм ва субстрат пешгирӣ кунад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: апрел-18-2024