Ду намуди асосии таҳшинсозии ионҳо вуҷуд доранд, ки яке гибридии динамикӣ мебошад; дигараш гибридии статикӣ мебошад. Дар собиқ ишора ба филм дар раванди афзоиши аст, ҳамеша бо як энергияи муайян ва чӯбро ҷорӣ аз бомбаборонкунии ion ва филми ҳамроҳӣ; охирин аст, пешакӣ дар рӯи замин як қабати камтар аз чанд nanometre ғафсӣ қабати плёнка, ва сипас бомбаборонкунии ion динамикӣ, ва метавонад борҳо такрор ва афзоиши қабати плёнка.
Энергияҳои шуои ионҳо, ки барои ҷойгиркунии ионҳои ёрирасони плёнкаҳои тунук интихоб шудаанд, аз 30 эВ то 100 кеВ мебошанд. Диапазони энергетикии интихобшуда аз намуди барномае, ки барои он филм синтез карда мешавад, вобаста аст. Масалан, тайёр кардани муҳофизати зангзанӣ, фарсудашавии зидди механикӣ, қабатҳои ороишӣ ва дигар филмҳои борик бояд энергияи бомбаборони баландтар интихоб карда шаванд. Таҷрибаҳо нишон медиҳанд, ки, масалан, интихоби энергияи 20 то 40 кВ аз бомбаборони шуои ион, маводи субстрат ва худи плёнка ба кор ва истифодаи зарар таъсир намерасонад. Ҳангоми тайёр кардани плёнкаҳои тунук барои дастгоҳҳои оптикӣ ва электронӣ бояд пошидани нури ионҳои камтари энергия интихоб карда шавад, ки он на танҳо адсорбсияи рӯшноиро коҳиш медиҳад ва аз пайдоиши нуқсонҳои бо нерӯи барқ фаъолшуда пешгирӣ мекунад, балки ба ташаккули сохтори ҳолати устувори мембрана мусоидат мекунад. Тадкикотхо нишон доданд, ки плёнкахоеро, ки хосиятхои аъло доранд, бо интихоби энергияи ионхо аз 500 эВ камтар ба даст овардан мумкин аст.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти интишор: 11 март-2024