మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్‌లో టార్గెట్ పాయిజనింగ్‌ను ప్రభావితం చేసే అంశాలు ఏమిటి?

1, లక్ష్య ఉపరితలంపై లోహ సమ్మేళనాల నిర్మాణం
రియాక్టివ్ స్పట్టరింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా లోహ లక్ష్య ఉపరితలం నుండి సమ్మేళనాన్ని ఏర్పరిచే ప్రక్రియలో ఏర్పడిన సమ్మేళనం ఎక్కడ ఉంటుంది? రియాక్టివ్ వాయు కణాలు మరియు లక్ష్య ఉపరితల అణువుల మధ్య రసాయన ప్రతిచర్య సమ్మేళన అణువులను ఉత్పత్తి చేస్తుంది, ఇది సాధారణంగా ఉష్ణప్రసరణకు సంబంధించినది కాబట్టి, ప్రతిచర్య వేడి బయటకు వెళ్ళడానికి ఒక మార్గాన్ని కలిగి ఉండాలి, లేకుంటే రసాయన ప్రతిచర్య కొనసాగదు. వాక్యూమ్ పరిస్థితులలో, వాయువుల మధ్య ఉష్ణ బదిలీ సాధ్యం కాదు, కాబట్టి రసాయన ప్రతిచర్య ఘన ఉపరితలంపై జరగాలి. రియాక్షన్ స్పట్టరింగ్ లక్ష్య ఉపరితలాలు, ఉపరితల ఉపరితలాలు మరియు ఇతర నిర్మాణ ఉపరితలాలపై సమ్మేళనాలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఉపరితల ఉపరితలంపై సమ్మేళనాలను ఉత్పత్తి చేయడం లక్ష్యం, ఇతర నిర్మాణ ఉపరితలాలపై సమ్మేళనాలను ఉత్పత్తి చేయడం వనరుల వృధా, మరియు లక్ష్య ఉపరితలంపై సమ్మేళనాలను ఉత్పత్తి చేయడం సమ్మేళన అణువుల మూలంగా ప్రారంభమవుతుంది మరియు నిరంతరం మరిన్ని సమ్మేళన అణువులను అందించడానికి అవరోధంగా మారుతుంది.

2, టార్గెట్ పాయిజనింగ్ యొక్క ప్రభావ కారకాలు
టార్గెట్ పాయిజనింగ్‌ను ప్రభావితం చేసే ప్రధాన అంశం రియాక్షన్ గ్యాస్ మరియు స్పట్టరింగ్ గ్యాస్ నిష్పత్తి, చాలా ఎక్కువ రియాక్షన్ గ్యాస్ టార్గెట్ పాయిజనింగ్‌కు దారితీస్తుంది. టార్గెట్ ఉపరితల స్పట్టరింగ్ ఛానల్ ప్రాంతంలో రియాక్టివ్ స్పట్టరింగ్ ప్రక్రియ నిర్వహించబడితే రియాక్షన్ సమ్మేళనం కప్పబడి ఉన్నట్లు కనిపిస్తుంది లేదా రియాక్షన్ సమ్మేళనం తీసివేయబడి, మెటల్ ఉపరితలం తిరిగి బహిర్గతమవుతుంది. సమ్మేళనం ఉత్పత్తి రేటు సమ్మేళనం స్ట్రిప్పింగ్ రేటు కంటే ఎక్కువగా ఉంటే, సమ్మేళనం కవరేజ్ ప్రాంతం పెరుగుతుంది. ఒక నిర్దిష్ట శక్తి వద్ద, సమ్మేళనం ఉత్పత్తిలో పాల్గొన్న ప్రతిచర్య వాయువు మొత్తం పెరుగుతుంది మరియు సమ్మేళనం ఉత్పత్తి రేటు పెరుగుతుంది. ప్రతిచర్య వాయువు మొత్తం అధికంగా పెరిగితే, సమ్మేళనం కవరేజ్ ప్రాంతం పెరుగుతుంది. మరియు ప్రతిచర్య వాయువు ప్రవాహ రేటును సకాలంలో సర్దుబాటు చేయలేకపోతే, సమ్మేళనం కవరేజ్ ప్రాంతం పెరుగుదల రేటు అణచివేయబడదు మరియు స్పట్టరింగ్ ఛానల్ సమ్మేళనం ద్వారా మరింత కవర్ చేయబడుతుంది, స్పట్టరింగ్ లక్ష్యం పూర్తిగా సమ్మేళనం ద్వారా కప్పబడినప్పుడు, లక్ష్యం పూర్తిగా విషపూరితం అవుతుంది.

3, టార్గెట్ పాయిజనింగ్ దృగ్విషయం
(1) పాజిటివ్ అయాన్ చేరడం: టార్గెట్ పాయిజనింగ్ జరిగినప్పుడు, టార్గెట్ ఉపరితలంపై ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్ పొర ఏర్పడుతుంది, ఇన్సులేటింగ్ పొర అడ్డుపడటం వల్ల పాజిటివ్ అయాన్లు కాథోడ్ టార్గెట్ ఉపరితలాన్ని చేరుకుంటాయి. కాథోడ్ టార్గెట్ ఉపరితలంలోకి నేరుగా ప్రవేశించవు, కానీ టార్గెట్ ఉపరితలంపై పేరుకుపోతాయి, కోల్డ్ ఫీల్డ్ టు ఆర్క్ డిశ్చార్జ్‌ను ఉత్పత్తి చేయడం సులభం - ఆర్సింగ్, తద్వారా కాథోడ్ స్పట్టరింగ్ కొనసాగదు.
(2) ఆనోడ్ అదృశ్యం: టార్గెట్ పాయిజనింగ్, గ్రౌన్దేడ్ వాక్యూమ్ చాంబర్ వాల్ కూడా డిపాజిటెడ్ ఇన్సులేటింగ్ ఫిల్మ్, ఆనోడ్ ఎలక్ట్రాన్లు ఆనోడ్‌లోకి ప్రవేశించలేకపోవడంతో ఆనోడ్ అదృశ్యం దృగ్విషయం ఏర్పడుతుంది.

4, టార్గెట్ పాయిజనింగ్ యొక్క భౌతిక వివరణ
(1) సాధారణంగా, లోహ సమ్మేళనాల ద్వితీయ ఎలక్ట్రాన్ ఉద్గార గుణకం లోహాల కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది. టార్గెట్ పాయిజనింగ్ తర్వాత, లక్ష్యం యొక్క ఉపరితలం మొత్తం లోహ సమ్మేళనాలతో కూడి ఉంటుంది మరియు అయాన్ల ద్వారా బాంబు దాడి చేయబడిన తర్వాత, విడుదలయ్యే ద్వితీయ ఎలక్ట్రాన్ల సంఖ్య పెరుగుతుంది, ఇది స్థలం యొక్క వాహకతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ప్లాస్మా ఇంపెడెన్స్‌ను తగ్గిస్తుంది, ఇది తక్కువ స్పట్టరింగ్ వోల్టేజ్‌కు దారితీస్తుంది. ఇది స్పట్టరింగ్ రేటును తగ్గిస్తుంది. సాధారణంగా మాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ యొక్క స్పట్టరింగ్ వోల్టేజ్ 400V-600V మధ్య ఉంటుంది మరియు టార్గెట్ పాయిజనింగ్ సంభవించినప్పుడు, స్పట్టరింగ్ వోల్టేజ్ గణనీయంగా తగ్గుతుంది.
(2) లోహ లక్ష్యం మరియు సమ్మేళనం లక్ష్యం మొదట చిమ్మే రేటు భిన్నంగా ఉంటుంది, సాధారణంగా లోహం యొక్క చిమ్మే గుణకం సమ్మేళనం యొక్క చిమ్మే గుణకం కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది, కాబట్టి లక్ష్య విషప్రయోగం తర్వాత చిమ్మే రేటు తక్కువగా ఉంటుంది.
(3) రియాక్టివ్ స్పట్టరింగ్ గ్యాస్ యొక్క స్పట్టరింగ్ సామర్థ్యం వాస్తవానికి జడ వాయువు యొక్క స్పట్టరింగ్ సామర్థ్యం కంటే తక్కువగా ఉంటుంది, కాబట్టి రియాక్టివ్ గ్యాస్ నిష్పత్తి పెరిగిన తర్వాత సమగ్ర స్పట్టరింగ్ రేటు తగ్గుతుంది.

5, టార్గెట్ పాయిజనింగ్ కోసం పరిష్కారాలు
(1) మీడియం ఫ్రీక్వెన్సీ విద్యుత్ సరఫరా లేదా రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ విద్యుత్ సరఫరాను స్వీకరించండి.
(2) రియాక్షన్ గ్యాస్ ఇన్‌ఫ్లో యొక్క క్లోజ్డ్-లూప్ నియంత్రణను స్వీకరించండి.
(3) జంట లక్ష్యాలను స్వీకరించండి
(4) పూత మోడ్ మార్పును నియంత్రించండి: పూత పూయడానికి ముందు, టార్గెట్ పాయిజనింగ్ యొక్క హిస్టెరిసిస్ ఎఫెక్ట్ కర్వ్ సేకరించబడుతుంది, తద్వారా నిక్షేపణ రేటు బాగా పడిపోయే ముందు ప్రక్రియ ఎల్లప్పుడూ మోడ్‌లో ఉండేలా చూసుకోవడానికి ఉత్పత్తి చేసే టార్గెట్ పాయిజనింగ్ ముందు భాగంలో ఇన్లెట్ గాలి ప్రవాహం నియంత్రించబడుతుంది.

–ఈ వ్యాసం వాక్యూమ్ కోటింగ్ పరికరాల తయారీదారు అయిన గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్హువా టెక్నాలజీ ద్వారా ప్రచురించబడింది.