అయాన్ బీమ్-సహాయక నిక్షేపణకు రెండు ప్రధాన పద్ధతులు ఉన్నాయి, ఒకటి డైనమిక్ హైబ్రిడ్; మరొకటి స్టాటిక్ హైబ్రిడ్. మునుపటిది వృద్ధి ప్రక్రియలో ఫిల్మ్ను సూచిస్తుంది, ఇది ఎల్లప్పుడూ అయాన్ బాంబర్డ్మెంట్ మరియు ఫిల్మ్ యొక్క నిర్దిష్ట శక్తి మరియు బీమ్ కరెంట్తో కూడి ఉంటుంది; రెండోది ఫిల్మ్ పొర యొక్క కొన్ని నానోమీటర్ల కంటే తక్కువ మందం కలిగిన పొరను సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై ముందుగా నిక్షిప్తం చేయబడుతుంది, ఆపై డైనమిక్ అయాన్ బాంబర్డ్మెంట్, మరియు అనేకసార్లు పునరావృతమవుతుంది మరియు ఫిల్మ్ పొర పెరుగుదల.
సన్నని ఫిల్మ్ల అయాన్ బీమ్ సహాయంతో నిక్షేపణ కోసం ఎంచుకున్న అయాన్ బీమ్ శక్తులు 30 eV నుండి 100 keV పరిధిలో ఉంటాయి. ఎంచుకున్న శక్తి పరిధి ఫిల్మ్ సంశ్లేషణ చేయబడుతున్న అప్లికేషన్ రకాన్ని బట్టి ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, తుప్పు రక్షణ, యాంటీ-మెకానికల్ వేర్, అలంకార పూతలు మరియు ఇతర సన్నని ఫిల్మ్ల తయారీకి అధిక బాంబర్డ్మెంట్ శక్తిని ఎంచుకోవాలి. అయాన్ బీమ్ బాంబర్డ్మెంట్ యొక్క 20 నుండి 40keV శక్తి ఎంపిక వంటి, సబ్స్ట్రేట్ పదార్థం మరియు ఫిల్మ్ కూడా నష్టం యొక్క పనితీరు మరియు వినియోగాన్ని ప్రభావితం చేయదని ప్రయోగాలు చూపిస్తున్నాయి. ఆప్టికల్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల కోసం సన్నని ఫిల్మ్ల తయారీలో, తక్కువ శక్తి అయాన్ బీమ్ సహాయంతో నిక్షేపణను ఎంచుకోవాలి, ఇది కాంతి శోషణను తగ్గిస్తుంది మరియు విద్యుత్తుగా సక్రియం చేయబడిన లోపాలు ఏర్పడకుండా చేస్తుంది, కానీ పొర యొక్క స్థిరమైన స్థితి నిర్మాణం ఏర్పడటానికి కూడా దోహదపడుతుంది. 500 eV కంటే తక్కువ అయాన్ శక్తులను ఎంచుకోవడం ద్వారా అద్భుతమైన లక్షణాలతో ఫిల్మ్లను పొందవచ్చని అధ్యయనాలు చూపిస్తున్నాయి.
–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: మార్చి-11-2024