గట్టి పూతలను జమ చేయడానికి సాంప్రదాయ పద్ధతులు

1. థర్మల్ CVD టెక్నాలజీ

హార్డ్ పూతలు ఎక్కువగా లోహ సిరామిక్ పూతలు (TiN, మొదలైనవి), ఇవి పూతలో లోహం యొక్క ప్రతిచర్య మరియు రియాక్టివ్ గ్యాసిఫికేషన్ ద్వారా ఏర్పడతాయి. మొదట, థర్మల్ CVD సాంకేతికతను 1000 ℃ అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఉష్ణ శక్తి ద్వారా కాంబినేషన్ రియాక్షన్ యొక్క క్రియాశీలత శక్తిని అందించడానికి ఉపయోగించారు. ఈ ఉష్ణోగ్రత సిమెంట్ కార్బైడ్ సాధనాలపై TiN మరియు ఇతర హార్డ్ పూతలను జమ చేయడానికి మాత్రమే అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఇప్పటివరకు, సిమెంట్ కార్బైడ్ సాధన తలలపై TiN - Al2O3 మిశ్రమ పూతలను జమ చేయడానికి ఇది ఇప్పటికీ ఒక ముఖ్యమైన సాంకేతికత.

1. హాలో కాథోడ్ అయాన్ పూత మరియు హాట్ వైర్ ఆర్క్ అయాన్ పూత

1980లలో, పూత పూసిన కట్టింగ్ సాధనాలను డిపాజిట్ చేయడానికి హాలో కాథోడ్ అయాన్ పూత మరియు హాట్ వైర్ ఆర్క్ అయాన్ పూత ఉపయోగించబడ్డాయి. ఈ రెండు అయాన్ పూత సాంకేతికతలు ఆర్క్ డిశ్చార్జ్ అయాన్ పూత సాంకేతికతలు, 20%~40% వరకు లోహ అయనీకరణ రేటుతో.

1. కాథోడ్ ఆర్క్ అయాన్ పూత

కాథోడిక్ ఆర్క్ అయాన్ కేటింగ్ యొక్క ఆవిర్భావం అచ్చులపై గట్టి పూతలను నిక్షేపించే సాంకేతికత అభివృద్ధికి దారితీసింది. కాథోడిక్ ఆర్క్ అయాన్ పూత యొక్క అయనీకరణ రేటు 60%~90%, ఇది పెద్ద సంఖ్యలో లోహ అయాన్లు మరియు ప్రతిచర్య వాయువు అయాన్లు వర్క్‌పీస్ యొక్క ఉపరితలాన్ని చేరుకోవడానికి మరియు ఇప్పటికీ అధిక కార్యాచరణను నిర్వహించడానికి అనుమతిస్తుంది, ఫలితంగా ప్రతిచర్య నిక్షేపణ మరియు TiN వంటి గట్టి పూతలు ఏర్పడతాయి. ప్రస్తుతం, కాథోడిక్ ఆర్క్ అయాన్ పూత సాంకేతికత ప్రధానంగా అచ్చులపై గట్టి పూతలను నిక్షేపించడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.

కాథోడ్ ఆర్క్ మూలం అనేది స్థిరమైన కరిగిన పూల్ లేకుండా ఘన-స్థితి బాష్పీభవన మూలం, మరియు ఆర్క్ మూల స్థానాన్ని ఏకపక్షంగా ఉంచవచ్చు, పూత గది యొక్క స్థల వినియోగ రేటును మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ఫర్నేస్ లోడింగ్ సామర్థ్యాన్ని పెంచుతుంది. కాథోడ్ ఆర్క్ మూలాల ఆకారాలలో చిన్న వృత్తాకార కాథోడ్ ఆర్క్ మూలాలు, స్తంభ ఆర్క్ మూలాలు మరియు దీర్ఘచతురస్రాకార ఫ్లాట్ పెద్ద ఆర్క్ మూలాలు ఉన్నాయి. చిన్న ఆర్క్ మూలాల యొక్క వివిధ భాగాలు, స్తంభ ఆర్క్ మూలాలు మరియు పెద్ద ఆర్క్ మూలాలను బహుళ-పొర ఫిల్మ్‌లు మరియు నానో మల్టీలేయర్ ఫిల్మ్‌లను డిపాజిట్ చేయడానికి విడిగా అమర్చవచ్చు. ఇంతలో, కాథోడిక్ ఆర్క్ అయాన్ పూత యొక్క అధిక లోహ అయనీకరణ రేటు కారణంగా, లోహ అయాన్లు ఎక్కువ ప్రతిచర్య వాయువులను గ్రహించగలవు, ఫలితంగా అద్భుతమైన హార్డ్ పూతలను పొందడానికి విస్తృత ప్రక్రియ పరిధి మరియు సరళమైన ఆపరేషన్ ఉంటుంది. అయితే, కాథోడిక్ ఆర్క్ అయాన్ పూత ద్వారా పొందిన పూత పొర యొక్క సూక్ష్మ నిర్మాణంలో ముతక బిందువులు ఉన్నాయి. ఇటీవలి సంవత్సరాలలో, ఫిల్మ్ పొర యొక్క నిర్మాణాన్ని మెరుగుపరచడానికి అనేక కొత్త సాంకేతికతలు ఉద్భవించాయి, ఇది ఆర్క్ అయాన్ పూత ఫిల్మ్ నాణ్యతను మెరుగుపరిచింది.