ஆவியாதல் பூச்சு போது, படல அடுக்கின் அணுக்கருவாக்கம் மற்றும் வளர்ச்சி பல்வேறு அயனி பூச்சு தொழில்நுட்பங்களின் அடிப்படையாகும்.
1. அணுக்கருவாக்கம்
Inவெற்றிட ஆவியாதல் பூச்சு தொழில்நுட்பம், படல அடுக்கு துகள்கள் ஆவியாதல் மூலத்திலிருந்து அணுக்களின் வடிவத்தில் ஆவியாக்கப்பட்ட பிறகு, அவை அதிக வெற்றிடத்தில் நேரடியாக பணிப்பகுதிக்கு பறந்து சென்று பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பில் அணுக்கருவாக்கம் மற்றும் வளர்ச்சி மூலம் படல அடுக்கை உருவாக்குகின்றன. வெற்றிட ஆவியாதலின் போது, ஆவியாதல் மூலத்திலிருந்து தப்பிக்கும் படல அடுக்கு அணுக்களின் ஆற்றல் சுமார் 0.2eV ஆகும். படல அடுக்கின் துகள்களுக்கு இடையிலான ஒத்திசைவு படல அடுக்கின் அணுக்களுக்கும் பணிப்பகுதிக்கும் இடையிலான பிணைப்பு விசையை விட அதிகமாக இருக்கும்போது, ஒரு தீவு கருவை உருவாக்குகிறது. ஒரு ஒற்றை படல அடுக்கு அணு பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பில் சிறிது நேரம் தங்கி, ஒழுங்கற்ற இயக்கம், பரவல், இடம்பெயர்வு அல்லது பிற அணுக்களுடன் மோதலைச் செய்து அணு கொத்துக்களை உருவாக்குகிறது. அணுக் கொத்தில் உள்ள அணுக்களின் எண்ணிக்கை ஒரு குறிப்பிட்ட முக்கியமான மதிப்பை அடைகிறது, ஒரு நிலையான கரு உருவாகிறது, இது ஒரே மாதிரியான வடிவ கரு என்று அழைக்கப்படுகிறது.
மென்மையானது, மேலும் பல குறைபாடுகள் மற்றும் படிகளைக் கொண்டுள்ளது, இது பணிப்பகுதியின் வெவ்வேறு பகுதிகளின் கதிரியக்க அணுக்களுக்கு உறிஞ்சும் சக்தியில் வேறுபாட்டை ஏற்படுத்துகிறது. குறைபாட்டின் மேற்பரப்பின் உறிஞ்சுதல் ஆற்றல் சாதாரண மேற்பரப்பை விட அதிகமாக உள்ளது, எனவே இது செயலில் உள்ள மையமாக மாறுகிறது, இது முன்னுரிமை அணுக்கருவுக்கு உகந்தது, இது பன்முக அணுக்கரு என அழைக்கப்படுகிறது. ஒருங்கிணைப்பு விசை பிணைப்பு விசைக்கு சமமாக இருக்கும்போது, அல்லது சவ்வு அணுக்களுக்கும் பணிப்பகுதிக்கும் இடையிலான பிணைப்பு விசை சவ்வு அணுக்களுக்கு இடையிலான ஒருங்கிணைந்த சக்தியை விட அதிகமாக இருக்கும்போது, லேமல்லர் அமைப்பு உருவாகிறது. அயன் முலாம் பூசுதல் தொழில்நுட்பத்தில், பெரும்பாலான சந்தர்ப்பங்களில் தீவு மையமானது உருவாகிறது.
2. வளர்ச்சி
படலத்தின் மையப்பகுதி உருவானதும், அது சம்பவ அணுக்களைப் பிடித்து தொடர்ந்து வளர்கிறது. தீவுகள் வளர்ந்து ஒன்றோடொன்று இணைந்து பெரிய அரைக்கோளங்களை உருவாக்குகின்றன, படிப்படியாக ஒரு அரைக்கோள தீவு அடுக்கை உருவாக்குகின்றன, இது பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பில் பரவுகிறது.
படல அடுக்கின் அணு ஆற்றல் அதிகமாக இருக்கும்போது, அது மேற்பரப்பில் போதுமான அளவு பரவ முடியும், மேலும் அடுத்தடுத்து வரும் அணு கொத்துகள் சிறியதாக இருக்கும்போது ஒரு மென்மையான தொடர்ச்சியான படலத்தை உருவாக்க முடியும். மேற்பரப்பில் உள்ள அணுக்களின் பரவல் பலவீனமாகவும், படிந்த கொத்துகளின் அளவு பெரியதாகவும் இருந்தால், அவை பெரிய தீபகற்ப கருக்களாக இருக்கும். தீவின் மையத்தின் மேற்பகுதி குழிவான பகுதியில் வலுவான நிழல் விளைவைக் கொண்டிருக்கிறது, அதுதான் "நிழல் விளைவு". மேற்பரப்பின் ப்ரொஜெக்ஷன் அடுத்தடுத்த படிந்த அணுக்களைப் பிடிக்கவும், முன்னுரிமை வளர்ச்சிக்கும் மிகவும் உகந்ததாக இருக்கிறது, இதன் விளைவாக மேற்பரப்பில் குழிவுத்தன்மை அதிகரித்து, போதுமான அளவு கூம்பு அல்லது நெடுவரிசை படிகங்களை உருவாக்குகிறது. கூம்பு படிகங்களுக்கு இடையில் ஊடுருவும் வெற்றிடங்கள் உருவாகின்றன மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மதிப்பு அதிகரிக்கிறது. அதிக வெற்றிடத்தில் நுண்ணிய திசுக்களைப் பெறலாம், வெற்றிட அளவு குறைவதால், சவ்வின் நுண் அமைப்பு தடிமனாகவும் தடிமனாகவும் மாறும்.
இடுகை நேரம்: மே-24-2023