அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவதற்கு இரண்டு முக்கிய முறைகள் உள்ளன, ஒன்று டைனமிக் கலப்பினம்; மற்றொன்று நிலையான கலப்பினம். முந்தையது வளர்ச்சி செயல்பாட்டில் உள்ள படலத்தைக் குறிக்கிறது, இது எப்போதும் அயன் குண்டுவீச்சு மற்றும் படலத்தின் ஒரு குறிப்பிட்ட ஆற்றல் மற்றும் கற்றை மின்னோட்டத்துடன் இருக்கும்; பிந்தையது அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் படல அடுக்கின் சில நானோமீட்டர்களுக்கும் குறைவான தடிமன் கொண்ட ஒரு அடுக்கு முன்-டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது, பின்னர் டைனமிக் அயன் குண்டுவீச்சு, மேலும் பல முறை மீண்டும் மீண்டும் செய்யப்படலாம் மற்றும் பட அடுக்கின் வளர்ச்சி.
மெல்லிய படலங்களின் அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவதற்கு தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட அயன் கற்றை ஆற்றல்கள் 30 eV முதல் 100 keV வரை இருக்கும். தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஆற்றல் வரம்பு படலம் ஒருங்கிணைக்கப்படும் பயன்பாட்டின் வகையைப் பொறுத்தது. எடுத்துக்காட்டாக, அரிப்பு பாதுகாப்பு, இயந்திர எதிர்ப்பு தேய்மானம், அலங்கார பூச்சுகள் மற்றும் பிற மெல்லிய படலங்களைத் தயாரிப்பதற்கு அதிக தாக்க ஆற்றலைத் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும். அயன் கற்றை தாக்குதலின் 20 முதல் 40keV ஆற்றலைத் தேர்ந்தெடுப்பது போன்ற, அடி மூலக்கூறு பொருள் மற்றும் படலம் சேதத்தின் செயல்திறன் மற்றும் பயன்பாட்டைப் பாதிக்காது என்பதை சோதனைகள் காட்டுகின்றன. ஆப்டிகல் மற்றும் மின்னணு சாதனங்களுக்கான மெல்லிய படலங்களைத் தயாரிப்பதில், குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும், இது ஒளி உறிஞ்சுதலைக் குறைப்பது மட்டுமல்லாமல், மின்சாரம் மூலம் செயல்படுத்தப்பட்ட குறைபாடுகள் உருவாவதைத் தவிர்ப்பது மட்டுமல்லாமல், சவ்வின் நிலையான நிலை கட்டமைப்பை உருவாக்குவதையும் எளிதாக்குகிறது. 500 eV க்கும் குறைவான அயன் ஆற்றல்களைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம் சிறந்த பண்புகளைக் கொண்ட படலங்களைப் பெற முடியும் என்று ஆய்வுகள் காட்டுகின்றன.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: மார்ச்-11-2024